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真空バルブ(2ページ目)

真空バルブは、真空チャンバーに取り付けられる真空部品でバルブの一種です。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければなりません。
遮断バルブ:ゲートバルブ、L型バルブ、ストレートバルブ、バタフライバルブ(大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブで、形状により何種類かのバルブがありますが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられています)
コンダクタンスバルブ:ニードルバルブ、バタフライバルブ(空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブです)
バルブ自体は、液体や気体の配管などで、その流れを制御するものの総称であり、制御させるものは、方向・圧力・流量となります
また、L型バルブからゲートバルブ、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインナップしているので、お客様の用途次第で選定頂く事が可能になっています。


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  • オールメタルバリアブルリークバルブ

    VAT

    オールメタルバリアブルリークバルブ

    評価 0.0
    プロセス圧力を微小流量で制御するガス導入バルブ。【特長】・激しい腐食性ガスへの耐性。・精密で再現性の高いガス流量調整。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    - - - - - - - - -
    通常価格(税別) : 267,266
    通常出荷日 : 7日目
  • スムーズベントバルブ(供給ライン) XVDシリーズ

    SMC

    スムーズベントバルブ(供給ライン) XVDシリーズ

    評価 0.0
    初期給気、主給気ともに流量調整可能なスムーズベントバルブ。【特長】・バルブとニードル弁一体化構造で配管スペースが1/4(従来比)・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減・弁の形式:常時閉(加圧開・スプリングシール)・使用流体:窒素、空気、不活性ガス等・使用温度:5~60℃(ベーキング温度、150℃以下)・質量:0.5kg
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    手動真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - 4.6 くい込み継手
    通常価格(税別) : 98,449円~
    通常出荷日 : 6日目~
  • モータ駆動バタフライバルブ MBV-LDII-MP シリーズ

    フジ・テクノロジー

    モータ駆動バタフライバルブ MBV-LDII-MP シリーズ

    評価 0.0
    【特長】・フルクローズ(全閉)とコンダクタンス調整が1台で出来、最少のコンダクタンス制御も可能です。・差圧状態(真空-大気圧)からオープンさせることができます。・高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。・全閉・全開の他、最大14ポジションの任意の位置に停止させることができます。・ポジショニング設定は、ティーチングボックスやパソコンソフトで簡単に行えます。・制御用オプション部品を追加することにより、自動圧力制御バルブとしても使用できます。・角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。・モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペースを有効活用できます。・フルクローズ(全閉)位置検出用フォトセンサを標準装備。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    機械作動真空弁 単体使用 ダイレクト - - その他 - - フランジ
    通常価格(税別) : 255,616円~
    通常出荷日 : 15日目
  • 高真空L型バルブ(自動)2FLV

    入江工研

    高真空L型バルブ(自動)2FLV

    評価 0.0
    【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス(SUS)で構成されています。・全体がコンパクト設計により小型、軽量化されています。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPa の差圧でも漏れません。・取り付け姿勢が自由。(特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨しております。)・機能設計により大きなコンダクタンスが得られます。・片側回転フランジのため、取付けが容易。( コンフラットフランジ)
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) : 110,810
    通常出荷日 : 6日目
  • インターロックバルブ ILV-01シリーズ

    アリオス

    インターロックバルブ ILV-01シリーズ

    評価 0.0
    停電時の真空保管・安全対策に!【特長】・通電中は手動バルブとして機能します・電源のみで動作し、圧縮空気は不要です・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません・電源入力電圧が、AC90~260Vまで切り替えをせずにご使用いただけます・排気セットやリークディテクターのメインバルブに最適です・タイミングリークバルブ(TLV-02) と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) : 410,401
    通常出荷日 : 15日目~
  • 高真空L型バルブ(手動)2FLV

    入江工研

    高真空L型バルブ(手動)2FLV

    評価 0.0
    【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス(SUS)で構成されています。・全体がコンパクト設計により小型、軽量化されています。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPa の差圧でも漏れません。・取り付け姿勢が自由。(特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨しております)・機能設計により大きなコンダクタンスが得られます。・片側回転フランジのため、取付けが容易。( コンフラットフランジ)
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    手動真空弁 単体使用 ダイレクト - - - - - フランジ
    通常価格(税別) : 101,133
    通常出荷日 : 6日目
  • フランジ型真空弁 NAVシリーズ(空圧作動式)

    • SALE 2025/03/31まで
    • 数量スライド割引

    佐藤真空

    フランジ型真空弁 NAVシリーズ(空圧作動式)

    評価 0.0
    佐藤真空 真空ポンプ フランジ型真空弁 NAVシリーズ(空圧作動式)。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    手動真空弁 / 空操真空弁 - - - - - - - -
    通常価格(税別) : 58,235円~
    特別価格
    通常出荷日 : 15日目~
  • タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

    アリオス

    タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

    評価 0.0
    停電時ポンプのオイルバック防止に最適な遅延リークバルブ。【特長】・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません。・RP,TMP等に直接取り付けることができます。・遅延時間が 25秒の Sタイプと 45秒の Lタイプ、2種類からご指定いただけます。・大気リーク及びN2等によるガスリークができます。・電源入力電圧は AC 90~260Vと DC 24V に対応しています。・インターロックバルブ (ILV-01) と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    遅延真空電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) : 134,357
    通常出荷日 : 3日目
メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格
(税別)
通常出荷日
種類
用途
設置方法
ポート数
ソレノイドの種類
切換の種類
電磁弁駆動の種類
有効断面積(mm2)
配管口の種類
配管ねじの呼び
接続チューブ径
フランジ種類
フランジ呼び
CV値

    オールメタルバリアブルリークバルブ

      スムーズベントバルブ(供給ライン) XVDシリーズ

        モータ駆動バタフライバルブ MBV-LDII-MP シリーズ

          高真空L型バルブ(自動)2FLV

            インターロックバルブ ILV-01シリーズ

              高真空L型バルブ(手動)2FLV

              • SALE 2025/03/31まで

              フランジ型真空弁 NAVシリーズ(空圧作動式)

                タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

                メーカー

                VAT

                SMC

                フジ・テクノロジー

                入江工研

                アリオス

                入江工研

                佐藤真空

                アリオス

                シリーズ名

                オールメタルバリアブルリークバルブ

                スムーズベントバルブ(供給ライン) XVDシリーズ

                モータ駆動バタフライバルブ MBV-LDII-MP シリーズ

                高真空L型バルブ(自動)2FLV

                インターロックバルブ ILV-01シリーズ

                高真空L型バルブ(手動)2FLV

                フランジ型真空弁 NAVシリーズ(空圧作動式)

                タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

                CAD
                • 2D / 3D
                通常価格
                (税別)

                267,266円

                98,449円

                255,616円

                110,810円

                410,401円

                101,133円

                58,235円

                特別価格

                SALE 2025/03/31まで

                • 数量別スライド値引

                134,357円

                通常出荷日 7日目 6日目~ 15日目 6日目 15日目~ 6日目 15日目~ 3日目
                種類-手動真空弁機械作動真空弁空操真空弁電磁真空弁手動真空弁手動真空弁 / 空操真空弁遅延真空電磁弁
                用途-単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用-単体使用
                設置方法-ダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクト-ダイレクト
                ポート数-2ポート弁-2ポート弁2ポート弁--2ポート弁
                ソレノイドの種類----シングル--シングル
                切換の種類-2位置ノーマルクローズその他2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルオープン--2位置ノーマルオープン
                電磁弁駆動の種類---直動形直動形--直動形
                有効断面積(mm2)-4.6------
                配管口の種類-くい込み継手フランジフランジフランジフランジ-フランジ
                配管ねじの呼び-1/4------
                接続チューブ径--------
                フランジ種類その他-NW / JIS / ISOCFNW / その他CF-NW
                フランジ呼び--80 / 100 / 1507040 / 7070-25
                CV値-84.87-----0.05

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