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    • -87×103
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    • 0.2
    • 0.2/430
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    • ガスバラストポート閉：≦0.67、ガスバラストポート開：≦2.0
    • 1
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    • 1.3×10の-1乗（1×10の-3乗のTorr）
    • 3
    • 3.3×10[[の3乗]]
    • 3.3×10の3乗
    • 3.32×10の3乗
    • ガスバラスト閉：3.5、ガスバラスト開：10
    • 4.0×10［［の－２乗］］
    • 5
    • 6.7
    • 6.7×10［［の－２乗］］
    • 6.7×10-1
    • 9.3
    • 10
    • 13.3×10の3乗
    • 16.0×10の3乗
    • 18
    • 19.9×10の3乗
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    • 34.66
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    • 70×10³/75×10³
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    • 93.3×10³
    • 98.6×10³
    • 100×10の3乗
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真空ポンプ

真空ポンプとは、対象物から気体を抜いて真空状態にするためのポンプです。各種実験・分析装置、半導体装置などの真空源として使用されるほか、気体のサンプリング、液体の撹拌などの用途にも使われます。製品タイプには、真空・排気に油を含まないドライ式、専用オイルを用いて気密・排気を行う油回転式、ピストンリングやダイヤフラムの往復運動によって気密・排気を行うエア式などの種類があり、動力源は手動・電力・電池・充電など製品によって異なります。稼働時に発生する音を低減させたもの、装置への組み込みに適したコンパクトサイズのもの、付属のバルブによって真空度の調整が可能なものなど、さまざまな特徴を有する製品があります。

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    給油不要のドライ式ロータリー式真空ポンプ。【特長】・真空側・排気側とも油分を含まないため、作業環境及び製品が油で汚染される心配がない。・完全無給油のため、給油の必要が無くメンテナンスフリー。・特殊カーボンブレードの開発により、耐久性及び低騒音を実現。【用途】・印刷機械 写真製版機（写真フィルムの吸着）。・真空包装 真空パックの吸気源。・IC関連機器 IC組立機チップ吸着。・クリーンルーム内での真空吸着搬送。
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