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- 圧力コントローラ
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- 一体形
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- おねじ
- めねじ
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- ガスケット継手
- ゲージポート
- おねじ
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配管ねじの種類
- M
- Rc(R)
- G
- NPT
- UNF
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配管ねじの呼び
- M5x0.8
- 1/8
- 1/4
- 3/8
- 1/2
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接続チューブ径
- 3
- 4
- 6
- 8
-
メーカー
- ミスミ (0)
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- キヤノンアネルバ (2)
- ミラプロ (2)
- 日本ピスコ (2)
- アルバック (2)
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-
CAD
- 2D
- 3D
真空計・圧力センサ（配管接続方向：下）
こちらのサイトでお探しの真空ポンプを商品仕様、型番、メーカー名等で検索できます。真空度に合わせて、求められる真空計が異なりますので用途にあった真空計を選定するようにしてください。
アルバック、VISTA、妙徳、山本計器製造をお取り扱い。その他国内外ブランドのお取り扱いもご要望に応じて適宜検討いたします。
【真空計詳細】
周囲の圧力よりも低い圧力を測定する圧力計を真空計といいます。1台で大気圧から高真空を測定できる真空計は無く、1個の端子に2種類の真空計を入れて、大気圧から高真空が測定可能な複合真空計もございます。
- 表示件数:
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- おすすめ
ミラプロ
評価 0.0複合真空計タフゲージは、BA電離真空計とピラニ真空計を組み合わせた複合型の真空計です。【特長】・1本で大気から超高真空までの広範囲を自動的に切り替えながら計測します・ピラニ真空計は温度計を内蔵して温度補正を行い、温度変化による誤差を低減します・ピラニ真空計には耐腐食性の材料を使用、高真空ではBA電離真空計と同じくタフモードで動作しますので、汚染環境でも感度低下が起きにくく、長期間、精度よく測定することができます環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力モニタ 一体形 下 フランジ - - - 通常価格(税別) ： 274,000円～ 通常出荷日 ： 91日目 -
- おすすめ
ミラプロ
評価 0.0【特長】・カソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました・カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました・今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます【用途】・真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、質量分析装置、LPCVD装置、有機EL材料精製、加速器等環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力モニタ 一体形 下 フランジ - - - 通常価格(税別) ： 249,000円～ 通常出荷日 ： 19日目 -
山本計器製造
評価 0.0小型圧力計の真空（-0.1Mpa～0Mpa）も計れるものとなります。環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力スイッチ - 下 おねじ Rc(R) / G 1/4 / 3/8 - 通常価格(税別) ： 3,782円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目 - 当日出荷可能
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ビスタ
評価 0.0大気圧から超高真空まで！オールインワン真空計【特長】・大気から超高真空までを一つの真空計で連続して自動計測できます。・荒引き用と高真空用のそれぞれの真空計に加えて、チャンバーを大気に戻す（パージ）ための真空スイッチ（大気圧センサー）を使用して別々に測定していた圧力計測システムが1台で可能になります。・センサーと回路を一体にして、圧力表示も付いています。・操作不要：DC24Vを接続するだけで、圧力がデジタル表示されます。大気圧から超高真空まで何の操作も必要なく自動計測アナログ出力、RS485、セットポイント3点付標準装備。・タフで安全なゲージ：高真空測定にはB-Aゲージに比べて丈夫なコールドカソードゲージを使用しています。高温のフィラメントが無いので安心。安全漏洩磁場が少ない。・優れた精度と安定性：ピラニゲージに比べて遥かに安定なクリスタルゲージを大気圧から荒引き圧力の測定に使用しています。・イージーメンテナンス：ゲージのクリーニング、交換等のメンテナンスが、簡単にお客様ご自身で可能。・アクセサリ、拡張性：外部表示器、ACアダプタをアクセサリで用意しています。- CAD ：
- 2D
環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力センサ 一体形 下 フランジ - - - 通常価格(税別) ： 222,744円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目 - 当日出荷可能
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インフィコン
評価 0.0中低真空領域測定ピラニ真空計。【特長】・スタンダードなタイプ。中低真空領域（推奨領域：10,000～0.1Pa）の圧力を測定。・大気圧～E-2Paまでの出力。・小型で軽量なデザインなので、使い勝手のよい製品。・センサー部もネジひとつで交換可能。・表示器は、測定データをUSBメモリに直接保存が可能でとても便利。【用途】・高真空用電離真空計の制御、補助真空圧力のモニター、真空システム内の安全回路に最適。- CAD ：
- 3D
環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力センサ 一体形 下 フランジ - - - 通常価格(税別) ： 54,268円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目 - 当日出荷可能
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- SALE 2025/03/31まで
インフィコン
評価 0.0大気圧から高真空まで1台で測定できるピラニ・コールドカソードゲージ。【特長】・ピラニ／ールドカソードコンビネーション真空計・大気圧から高真空までの13桁を、これ1台で測定することが可能・イオンゲージ（熱陰極）真空計よりも、頑丈で部品やセンサーユニットでの交換も可能・浮遊磁場の影響がほとんどないので作業性も向上し、周辺機器への影響も抑えられる・表示器は、測定データをUSBメモリに直接保存が可能・1×10の-10乗Pa・m3l/s未満のリークレートに対応するように設計、テストされている【用途】・放電性能も向上しており、ペニングゲージからの置き換えにも最適- CAD ：
- 3D
環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力センサ 一体形 下 フランジ - - - 通常価格(税別) ： 198,055円～ 特別価格 通常出荷日 ： 在庫品1日目 - 当日出荷可能
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インフィコン
評価 0.0表示器を搭載したピラニ真空計です。100V電源に接続して使用可能、大気圧近辺もこれ1台で測定ができます。【特長】・広い測定範囲と大気圧近くでの高精度を可能にするコンベクション型ピラニテクノロジー。・内蔵ディスプレイ、2つのセットポイント、4種類のアナログ出力信号、2種類のデジタルインターフェイスが全て一体となったボディ。・明るいデジタル有機ELディスプレイと、セットアップ、調整、操作を簡単に行えるキーパッド。・4種類から選択可能なアナログ出力信号。・工場出荷時にはアナログ出力信号がプリセットされていますが、キーパッドで設定を変更できます。・表示単位もキーパッドで変更できます。・ユーザーが設定可能なセットポイントリレー。・金メッキ加工のタングステン・フィラメント。・衝撃や振動の影響を受けにくい堅牢な筐体。・8種類から選択可能なフランジ形状。・CEマーキング。・Granville-Phillips製GP275と互換性あり。- CAD ：
- 3D
環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力モニタ 一体形 下 フランジ - - - 通常価格(税別) ： 78,669円 通常出荷日 ： 8日目 -
インフィコン
熱陰極電離・ピラニ真空計 BPG400 DN25KF（ディスプレイ無し）
評価 0.0【特長】・ビラニのインターロックがベイヤードアルパートシステムを過早バーンアウトと高圧操業による過度の汚染から保護・長寿命のイットリアコートイリジウム・フィラメント・自動高真空ピラニ調整はオペレーターの作業を軽減します・一般的な真空計測と低から超高まで真空範囲のコントロール・ピラニ／イオンコンビネーション真空計。大気圧から高真空までの13桁を1台で測定可能・コールドカソード（冷陰極）真空計より、測定精度に優れ、センサー部での交換も可能・表示器は、測定データをUSBメモリに直接保存が可能・1×10の-10乗Pa・m3l/s未満のリークレートに対応するように設計、テストされている【用途】・高真空領域を精度よく測定するアプリケーションに最適・急な大気開放などの耐久性が求められる箇所にも使用可能- CAD ：
- 3D
環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力センサ 一体形 下 フランジ - - - 通常価格(税別) ： 189,936円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目 - 当日出荷可能
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キヤノンアネルバ
ピラニゲージ／ピラニゲージ（耐蝕型） 【M-350PG／M-351PG】
評価 0.0ピラニゲージ。【概要】・大気圧から測定できる手軽さと、高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。・低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。【特長】・低・中真空領域の測定に最適。【用途】・粗引き系の圧力測定、排気系の圧力モニタ、制御など。ピラニゲージ（耐蝕型）。【概要】・Niフィラメントを採用し、耐蝕性を向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。【特長】・耐食性の向上。・再現性がよく低価格。・5×10の-2乗Paから大気圧。・取付方向の制約なし。【用途】・半導体、電子デバイス製造装置、ドライエッチング装置、プラズマCVD装置、LD-CVD装置など。・食品・医薬品製造装置、真空凍結乾燥、真空蒸留装置、滅菌装置など。環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力センサ 分離形・コネクタ接続 下 フランジ - - - 通常価格(税別) ： 51,300円 通常出荷日 ： 14日目 -
キヤノンアネルバ
評価 0.0【概要】・トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。・イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。・センサはミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。【特長】・ワイドな圧力測定範囲。・10の-7乗Pa～10Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能。・高応答アナログ出力。・圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能。・4つのエミッション電流設定モード。・高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能です。・省スペース・低消費電力。【用途】・生産用真空装置の圧力測定。・半導体スパッタリング装置の圧力測定。・各種真空装置。環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力センサ 分離形・コネクタ接続 下 フランジ - - - 通常価格(税別) ： 175,750円 通常出荷日 ： 9日目 -
- SALE 2025/03/31まで
アルバック
評価 0.0【特長】・スマートフォンとのダイレクト接続です・USBケーブルによりスマートフォンとダイレクト接続（特許出願中）します・その他の設備は不要です・パソコンとの接続も可能です【用途】・真空ポンプメンテナンス時の到達圧力確認に・真空装置メンテナンス時の圧力確認に【材質】・測定子フィラメント：白金（Pt）環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力センサ 分離形・コネクタ接続 下 おねじ / フランジ Rc(R) 1/8 - 通常価格(税別) ： 59,800円～ 特別価格 通常出荷日 ： 2日目～ -
- SALE 2025/03/31まで
アルバック
評価 0.0【特長】・マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です・PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます・真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました・フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です・大気圧から高真空領域（1×10の+5乗～1×10の-8乗Pa）の測定が可能（オプションユニットSWU10-R接続時）です【用途】・半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御用に・インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認に・高真空・超高真空装置の圧力測定に【材質】・測定子フィラメント・白金（Pt）【セット内容】・SH200-A・SWU10-R・SH200用測定子M45・SWU10-R専用測定子SWP-25・SWU接続用ユニットケーブル0.5m環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力センサ 分離形・コネクタ接続 下 フランジ - - - 通常価格(税別) ： 355,200円 特別価格 通常出荷日 ： 2日目 -
- 数量スライド割引
東京電子
評価 0.0センサー・回路・ディスプレイ一体型。コンパクトB-A真空計。【特長】・一般的なB-A真空計より測定範囲が広い。・ディスプレイ一体型で接続の手間なし。・金属製センサーを使用。・フィラメントの断線、焼損に備えフィラメント2本を標準装備。・急激な圧力変化に対する保護機能搭載。・有機EL採用でディスプレイの文字が読みやすい。・16種類のガスに対応。・センサーは2本のフィラメントを装備しておりますが、フィラメントが切れた場合でも、お客様で簡単にセンサーの交換が可能です。・AC電源でお使いの場合は必ず必要です。環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力センサ 一体形 下 フランジ - - - 通常価格(税別) ： 255,734円～ 通常出荷日 ： 15日目 -
インフィコン
評価 0.0大気圧近辺もこれ1台で測定可能なコンベクション型ピラニ真空計。【特長】・広い測定範囲と大気圧近くでの高精度を可能にするコンベクション型ピラニテクノロジー。・金メッキ加工のタングステン・フィラメント。・衝撃や振動の影響を受けにくい堅牢な筐体。・8種類から選択可能なフランジ形状。・CEマーキング。・Granville-Phillips製コントローラに接続可能。環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力センサ 分離形・コネクタ接続 下 フランジ - - - 通常価格(税別) ： 24,858円 通常出荷日 ： 8日目 -
コンバム（旧：妙徳）
評価 0.0【特長】・CVA2コンバム専用真空スイッチ。・メカニカル式スイッチ。環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力スイッチ 一体形 下 - - - - 通常価格(税別) ： 6,088円 通常出荷日 ： 在庫品1日目 - 当日出荷可能
-
- 数量スライド割引
日本ピスコ
評価 0.0【特長】・幅10mm、高さ10mm、全長25mmの小型圧力センサです。・圧力取出しは、ニップル・オネジ・ユニオンタイプの3種類を用意。・アナログ出力タイプと表示器（SED30）を使用することにより、分離型表示を可能にしました。・圧力レンジは正圧・負圧・連成圧の3種類、出力仕様は、スイッチ出力・アナログ出力の計6種類をラインナップ。・エア流路に「銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」の分野向けのセンサヘッドを追加いたします。・金属部材質は銅系金属不使用仕様、シールゴム材質にはHNBRを採用いたしました。環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力センサヘッド 分離形・端子台接続 下 おねじ M / Rc(R) M5x0.8 / 1/8 - 通常価格(税別) ： 6,368円～ 通常出荷日 ： 6日目 -
- 数量スライド割引
日本ピスコ
評価 0.0【特長】・幅10mm、高さ10mm、全長25mmの小型圧力センサです。・圧力取出しは、ニップル・オネジ・ユニオンタイプの3種類を用意。・アナログ出力タイプと表示器（SED30）を使用することにより、分離型表示を可能にしました。・圧力レンジは正圧・負圧・連成圧の3種類、出力仕様は、スイッチ出力・アナログ出力の計6種類をラインナップ。・エア流路に「銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」の分野向けのセンサヘッドを追加いたします。・金属部材質は銅系金属不使用仕様、シールゴム材質にはHNBRを採用いたしました。- CAD ：
- 3D
環境対応 種類 センサ・モニタ構造 配管接続方向 配管口の種類 配管ねじの種類 配管ねじの呼び 接続チューブ径 - 圧力センサヘッド 分離形・端子台接続 下 ニップル - - - 通常価格(税別) ： 6,368円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目～ - 一部当日出荷可能
| メーカー |
|---|
| シリーズ名 |
| CAD |
| 通常価格 (税別) |
| 通常出荷日 |
| 環境対応 |
| 種類 |
| センサ・モニタ構造 |
| 配管接続方向 |
| 配管口の種類 |
| 配管ねじの種類 |
| 配管ねじの呼び |
| 接続チューブ径 |
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| メーカー | ミラプロ | ミラプロ | 山本計器製造 | ビスタ | インフィコン | インフィコン | インフィコン | インフィコン | キヤノンアネルバ | キヤノンアネルバ | アルバック | アルバック | 東京電子 | インフィコン | コンバム（旧：妙徳） | 日本ピスコ | 日本ピスコ |
| シリーズ名 | |||||||||||||||||
| CAD |
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| 通常価格 (税別) | 274,000円～ | 249,000円～ | 3,782円～ | 222,744円～ | 54,268円～ | 198,055円～ 特別価格 SALE 2025/03/31まで | 78,669円 | 189,936円～ | 51,300円 | 175,750円 | 59,800円～ 特別価格 SALE 2025/03/31まで | 355,200円 特別価格 SALE 2025/03/31まで | 255,734円～
| 24,858円 | 6,088円 | 6,368円～
| 6,368円～
|
| 通常出荷日 | 91日目 | 19日目 |
在庫品1日目
当日出荷可能 |
在庫品1日目
当日出荷可能 |
在庫品1日目
当日出荷可能 |
在庫品1日目
当日出荷可能 | 8日目 |
在庫品1日目
当日出荷可能 | 14日目 | 9日目 | 2日目～ | 2日目 | 15日目 | 8日目 |
在庫品1日目
当日出荷可能 | 6日目 |
在庫品1日目～
一部当日出荷可能 |
| 環境対応 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 種類 | 圧力モニタ | 圧力モニタ | 圧力スイッチ | 圧力センサ | 圧力センサ | 圧力センサ | 圧力モニタ | 圧力センサ | 圧力センサ | 圧力センサ | 圧力センサ | 圧力センサ | 圧力センサ | 圧力センサ | 圧力スイッチ | 圧力センサヘッド | 圧力センサヘッド |
| センサ・モニタ構造 | 一体形 | 一体形 | - | 一体形 | 一体形 | 一体形 | 一体形 | 一体形 | 分離形・コネクタ接続 | 分離形・コネクタ接続 | 分離形・コネクタ接続 | 分離形・コネクタ接続 | 一体形 | 分離形・コネクタ接続 | 一体形 | 分離形・端子台接続 | 分離形・端子台接続 |
| 配管接続方向 | 下 | 下 | 下 | 下 | 下 | 下 | 下 | 下 | 下 | 下 | 下 | 下 | 下 | 下 | 下 | 下 | 下 |
| 配管口の種類 | フランジ | フランジ | おねじ | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | おねじ / フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | - | おねじ | ニップル |
| 配管ねじの種類 | - | - | Rc(R) / G | - | - | - | - | - | - | - | Rc(R) | - | - | - | - | M / Rc(R) | - |
| 配管ねじの呼び | - | - | 1/4 / 3/8 | - | - | - | - | - | - | - | 1/8 | - | - | - | - | M5x0.8 / 1/8 | - |
| 接続チューブ径 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
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