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真空バルブ(種類:パイロット真空弁)

真空バルブは、真空チャンバーに取り付けられる真空部品でバルブの一種です。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければなりません。
遮断バルブ:ゲートバルブ、L型バルブ、ストレートバルブ、バタフライバルブ(大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブで、形状により何種類かのバルブがありますが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられています)
コンダクタンスバルブ:ニードルバルブ、バタフライバルブ(空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブです)
バルブ自体は、液体や気体の配管などで、その流れを制御するものの総称であり、制御させるものは、方向・圧力・流量となります
また、L型バルブからゲートバルブ、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインナップしているので、お客様の用途次第で選定頂く事が可能になっています。


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  • アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/ベローズシール XLCシリーズ

    SMC

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/ベローズシール XLCシリーズ

    評価 0.0
    【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 34,424円~
    通常出荷日 : 在庫品1日目~
    • 一部当日出荷可能
  • アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFシリーズ

    SMC

    アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFシリーズ

    評価 0.0
    【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 31,959円~
    通常出荷日 : 3日目~
  • ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

    SMC

    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

    評価 0.0
    ガス溜まりのない精密鋳造一体構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・圧力バランス構造・ボディ材質:SCS13(SUS304相当)・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)・軽量・コンパクト
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 43,164円~
    通常出荷日 : 3日目~
  • アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/Oリングシール XLGシリーズ

    SMC

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/Oリングシール XLGシリーズ

    評価 0.0
    【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 33,659円~
    通常出荷日 : 6日目~
  • ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

    SMC

    ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

    評価 0.0
    ポンプの過負荷運転を防止する真空バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化(流量二段制御バルブ)・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバ内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・ボディ材質:SCS13(SUS304相当)・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取り付け(XMシリーズ)
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 67,871円~
    通常出荷日 : 6日目~
メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格
(税別)
通常出荷日
種類
用途
設置方法
ポート数
ソレノイドの種類
切換の種類
電磁弁駆動の種類
有効断面積(mm2)
配管口の種類
配管ねじの呼び
接続チューブ径
フランジ種類
フランジ呼び
CV値

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/ベローズシール XLCシリーズ

      アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFシリーズ

        ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

          アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/Oリングシール XLGシリーズ

            ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

            メーカー

            SMC

            SMC

            SMC

            SMC

            SMC

            シリーズ名

            アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/ベローズシール XLCシリーズ

            アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFシリーズ

            ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

            アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/Oリングシール XLGシリーズ

            ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

            CAD
            • 2D / 3D
            • 2D / 3D
            • 2D / 3D
            • 2D / 3D
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            通常価格
            (税別)

            34,424円

            31,959円

            43,164円

            33,659円

            67,871円

            通常出荷日 在庫品1日目~
            一部当日出荷可能
            3日目~ 3日目~ 6日目~ 6日目~
            種類パイロット真空弁パイロット真空弁パイロット真空弁パイロット真空弁パイロット真空弁
            用途単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用
            設置方法ダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクト
            ポート数2ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁
            ソレノイドの種類-----
            切換の種類2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ
            電磁弁駆動の種類-----
            有効断面積(mm2)-----
            配管口の種類フランジフランジフランジフランジフランジ
            配管ねじの呼び-----
            接続チューブ径-----
            フランジ種類KF / KKF / KKF / K / CFKF / KKF / K / CF
            フランジ呼び16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 8016 / 25 / 40 / 50 / 63 / 8016 / 25 / 40 / 50 / 63 / 8016 / 25 / 40 / 50 / 63 / 8025 / 40 / 50 / 63 / 80
            CV値-----
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