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種類
- 電磁真空弁
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- 遅延真空電磁弁
- 手動真空弁
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- パイロット真空弁
- 空操真空弁
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用途
- 単体使用
- 多連
-
設置方法
- ダイレクト
- マニホールドベース
- サブベース
-
ポート数
- 2ポート弁
- 3ポート弁
- 5ポート弁
- 2ポート弁
-
ソレノイドの種類
- シングル
- ダブル
-
切換の種類
- 2位置ノーマルオープン
- 2位置ノーマルクローズ
- その他
- 2位置ノーマルオープン
-
有効断面積(mm2)
A・Bポートの接続ﾁｭｰﾌﾞ径になります
- 0.07
- 0.1
- 0.19
- 0.2
- 0.38
- 0.45
- 0.55
- 0.6
- 0.78
- 1.5
- 2.0
- 2.5
- 4
- 4.2
- 4.5
- 4.6
- 5
- 5.5
- 7.65
- 8.3
- 8.5
- 10.2
- 11
- 15
- 36
- 55
-
配管口の種類
-
配管ねじの呼び
-
接続チューブ径
-
フランジ種類
-
フランジ呼び
-
CV値
- 0.0037940379
- 0.006
- 0.010298103
- 0.011
- 0.02
- 0.020596206
- 0.025
- 0.03
- 0.0422764228
- 0.05
- 0.08
- 0.12
- 0.17
- 0.23
- 0.27
- 0.28
- 0.33
- 0.45
- 0.47
- 0.57
- 0.6
- 0.76
- 1.05
- 1.6
- 2
- 2.7
- 3
- 4
- 7
- 10
- 15
- 17
- 20
- 27
- 30
- 50
- 84.87
-
メーカー
-
CAD
- 2D
- 3D
真空バルブ（電磁弁駆動の種類：直動形）
遮断バルブ：ゲートバルブ、Ｌ型バルブ、ストレートバルブ、バタフライバルブ（大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブで、形状により何種類かのバルブがありますが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられています）
コンダクタンスバルブ：ニードルバルブ、バタフライバルブ（空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブです）
バルブ自体は、液体や気体の配管などで、その流れを制御するものの総称であり、制御させるものは、方向・圧力・流量となります
また、L型バルブからゲートバルブ、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインナップしているので、お客様の用途次第で選定頂く事が可能になっています。
【おすすめ人気ランキング】
「真空 シール」のおすすめ商品をピックアップしたおすすめ人気ランキングを用意しております。
「真空 シール」のおすすめ人気ランキング
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SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ
評価 0.0ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ 通常価格(税別) ： 72,929円～ 通常出荷日 ： 19日目 -
SMC
アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFVシリーズ エアオペレートタイプ 電磁弁付
評価 0.0【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ 通常価格(税別) ： 39,209円～ 通常出荷日 ： 19日目 -
ＣＫＤ
評価 0.0高い真空度保持力、優れた耐久性を備えた高真空用電磁弁。【特長】・耐久性200万回（メーカー条件）・長期連続使用にも高い性能を維持でき、信頼性に優れたハイクオリティなバルブ・真空漏れ1×10の‐9乗Pa・m3/s以下。内部、外部漏れ量が安定しており、高い真空度保持力を誇る・特殊パッキン採用。FKM製、シール寿命に優れている・高耐食。ボディにステンレスを採用・高い真空度保持力。低リークで、真空度保持力が安定。背圧使用可能（逆真空）一部機種を除く・シンプルな構造でメンテナンスが容易にできる【用途】・真空回路の切り替えに種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - NPT / JXR継手 / くい込み継手 通常出荷日 ： 7日目～ -
- SALE 2025/06/30まで
コガネイ
評価 0.0軽量かつコンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁です。【特長】・配管ポートと流れの方向に制約されないNC（常時閉）・NO（常時開）共用の2・3ポート弁としての用途のほか、セレクタ弁（2圧切換弁）や、デバイダ弁（分配弁）としても、その真価を発揮します・正圧との併用においても高い信頼性を発揮しますから、真空破壊用や強制離脱用バルブとしても最適です・ACソレノイドにはフライホイルダイオードを標準装備（DC24V用はオプション）ソレノイドの焼損やうなりを解消します・供給圧力を弁シート部でバランスさせている圧力バランスポペット方式を採用します・操作力が小さいため、高頻度作業に適し小形で大流量が得られます【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応- CAD ：
- 3D
種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ 直動形 8.5 Rc 通常価格(税別) ： 9,461円～ 特別価格 通常出荷日 ： 在庫品1日目～ - 一部当日出荷可能
-
- SALE 2025/06/30まで
入江工研
評価 0.0ALLステンレス使用で高い耐食性をもつアングル真空バルブ。【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されている。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない。・機能設計により大きなコンダクタンスが得られる。・片側回転フランジのため、取付けが容易（コンフラットフランジ）。・取り付け姿勢が自由（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨）。- CAD ：
- 3D
種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ / その他 直動形 - フランジ 通常価格(税別) ： 38,221円～ 特別価格 通常出荷日 ： 在庫品1日目～ - 一部当日出荷可能
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SMC
評価 0.0発塵を低減し、シール性能が向上した常時閉型高真空電磁弁 。【特長】・難燃性がある（UL94V-0準拠）・2種の継手（フェースシール継手・コンプレッション継手）、めねじ（Rc、NPT）を用意・スプリングを鉄心摺動部からボディ部へ移動することによりスプリングの接触による発塵を低減させました・大きなスプリング力で確実にシール・消費電力※：4.5W（サイズ1）/7W（サイズ2）/10.5W（サイズ3）（※DC仕様/B種の場合です。）・使用温度範囲：5～60℃種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - Rc / NPT / フェースシール継手 / コンプレッション継手 通常価格(税別) ： 19,209円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目～ - 一部当日出荷可能
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SMC
アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ
評価 0.0駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。【特長】・金属摺動部がないためダスト減少・圧力バランス構造で、排気方向自由・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率が小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ 通常価格(税別) ： 32,899円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目～ - 一部当日出荷可能
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ＣＫＤ
評価 0.0高真空用の電磁弁。【特長】・NC（通電時開）形・接続口径：フランジΦ48、Φ52【用途】・真空及び不活性ガスの制御に最適種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ 通常出荷日 ： 8日目～ -
コガネイ
評価 0.0多様な制御ニーズに応えて､新たに正圧・常時開仕様と真空仕様をラインアッフﾟ！生産ラインの機械・装置にベストな制御系が選択可能になりました｡種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 / 多連 ダイレクト / マニホールドベース 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ 直動形 0.1 ～ 0.45 M 通常価格(税別) ： 4,154円～ 通常出荷日 ： 3日目～ -
コガネイ
評価 0.0軽量でコンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁です。【特長】・配管ポートと流れの方向に制約されないNC（常時閉）・NO（常時開）共用の2・3ポート弁としての用途のほか、セレクタ弁（2圧切換弁）や、デバイダ弁（分配弁）としても、その真価を発揮します・正圧との併用においても高い信頼性を発揮しますから、真空破壊用や強制離脱用バルブとしても最適です・ACソレノイドにはフライホイルダイオードを標準装備（DC24V用はオプション）ソレノイドの焼損やうなりを解消します・供給圧力を弁シート部で平衡させる圧力バランスポペット方式を採用します・操作力が小さいため、高頻度作業に適し小形で大流量が得られます【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 5 Rc 通常価格(税別) ： 8,300円～ 通常出荷日 ： 3日目 -
コガネイ
評価 0.0耐久性と確実作動を実現した角形電磁真空弁。【特長】・軽量・コンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁・多連のバキュームパッドに1対1で対応可能・省スペース・低電流タイプ・結線方法が選択可能【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 0.6 M 通常価格(税別) ： 4,585円～ 通常出荷日 ： 3日目 -
コガネイ
評価 0.0軽量、コンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁です。【特長】・真空ラインの確実作動と耐久性を約束する、信頼のメカニズムです・使いやすいと信頼性を追求した合理的な機構が、高機能と確実作動を実現させました・正圧との併用においても高い信頼性を発揮しますから、真空破壊用や強制離脱用バルブとしても最適です・ACソレノイドにはフライホイルダイオードを標準装備（DC24V用はオプション）ソレノイドの焼損やうなりを解消します【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ 直動形 1.5 M / Rc 通常価格(税別) ： 8,042円～ 通常出荷日 ： 3日目 -
アリオス
評価 0.0停電時の真空保管・安全対策に！【特長】・通電中は手動バルブとして機能します・電源のみで動作し、圧縮空気は不要です・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません・電源入力電圧が、AC90～260Vまで切り替えをせずにご使用いただけます・排気セットやリークディテクターのメインバルブに最適です・タイミングリークバルブ（TLV-02） と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン 直動形 - フランジ 通常価格(税別) ： 410,401円 通常出荷日 ： 15日目～ -
ＣＫＤ
評価 0.0軽量、コンパクトな外観、真空システムのハイサイクル化を実現した真空切換ユニット。【特長】・市場のニーズに応えた軽量、コンパクトな真空ユニット・真空ユニットVSXPの固定方法には、側面からネジ等により固定するダイレクトマウントタイプ、およびDINレールへの取付けが可能なDINレール取付タイプを用意・真空用圧力スイッチには、視認性の良いデジタル表示付真空用圧力スイッチを用意・デジタル表示付真空用圧力スイッチには、2点スイッチ出力付き、およびアナログ出力付きの2タイプを用意・様々な用途、コストに合わせた選択が可能【用途】・配線にはコネクタ方式を採用し、配線レイアウトを容易に行える- CAD ：
- 2D
種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ 直動形 4.5 ワンタッチ配管 通常出荷日 ： 8日目～ -
アリオス
評価 0.0停電時ポンプのオイルバック防止に最適な遅延リークバルブ。【特長】・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません。・RP,TMP等に直接取り付けることができます。・遅延時間が 25秒の Sタイプと 45秒の Lタイプ、2種類からご指定いただけます。・大気リーク及びN2等によるガスリークができます。・電源入力電圧は AC 90～260Vと DC 24V に対応しています。・インターロックバルブ （ILV-01） と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です。種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 遅延真空電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン 直動形 - フランジ 通常価格(税別) ： 134,357円 通常出荷日 ： 3日目 -
入江工研
評価 0.0【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されています。・全体がコンパクト設計により小型、軽量化されています。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPa の差圧でも漏れません。・取り付け姿勢が自由。（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨しております。）・機能設計により大きなコンダクタンスが得られます。・片側回転フランジのため、取付けが容易。（ コンフラットフランジ）種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ 通常価格(税別) ： 110,810円 通常出荷日 ： 6日目
| メーカー |
|---|
| シリーズ名 |
| CAD |
| 通常価格 (税別) |
| 通常出荷日 |
| 種類 |
| 用途 |
| 設置方法 |
| ポート数 |
| ソレノイドの種類 |
| 切換の種類 |
| 電磁弁駆動の種類 |
| 有効断面積(mm2) |
| 配管口の種類 |
| 配管ねじの呼び |
| 接続チューブ径 |
| フランジ種類 |
| フランジ呼び |
| CV値 |
|
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|
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|
|
| |
| メーカー | SMC | SMC | ＣＫＤ | コガネイ | 入江工研 | SMC | SMC | ＣＫＤ | コガネイ | コガネイ | コガネイ | コガネイ | アリオス | ＣＫＤ | アリオス | 入江工研 |
| シリーズ名 | ||||||||||||||||
| CAD |
|
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|
|
|
| |||||||
| 通常価格 (税別) | 72,929円～ | 39,209円～ | - | 9,461円～ 特別価格 SALE 2025/06/30まで | 38,221円～ 特別価格 SALE 2025/06/30まで | 19,209円～ | 32,899円～ | - | 4,154円～ | 8,300円～ | 4,585円～ | 8,042円～ | 410,401円 | - | 134,357円 | 110,810円 |
| 通常出荷日 | 19日目 | 19日目 | 7日目～ |
在庫品1日目～
一部当日出荷可能 |
在庫品1日目～
一部当日出荷可能 |
在庫品1日目～
一部当日出荷可能 |
在庫品1日目～
一部当日出荷可能 | 8日目～ | 3日目～ | 3日目 | 3日目 | 3日目 | 15日目～ | 8日目～ | 3日目 | 6日目 |
| 種類 | 高真空用電磁弁 | 高真空用電磁弁 | 高真空用電磁弁 | 電磁真空弁 | 空操真空弁 | 高真空用電磁弁 | 電磁真空弁 | 高真空用電磁弁 | 電磁真空弁 | 電磁真空弁 | 電磁真空弁 | 電磁真空弁 | 電磁真空弁 | 電磁真空弁 | 遅延真空電磁弁 | 空操真空弁 |
| 用途 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 / 多連 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 |
| 設置方法 | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト / マニホールドベース | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト |
| ポート数 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 / 3ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 / 3ポート弁 | 3ポート弁 | 2ポート弁 / 3ポート弁 | 2ポート弁 / 3ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 |
| ソレノイドの種類 | シングル | シングル | シングル | シングル | - | シングル | シングル | シングル | シングル | シングル | シングル | シングル | シングル | - | シングル | - |
| 切換の種類 | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ / その他 | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルオープン | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルオープン | 2位置ノーマルクローズ |
| 電磁弁駆動の種類 | 直動形 | 直動形 | 直動形 | 直動形 | 直動形 | 直動形 | 直動形 | 直動形 | 直動形 | 直動形 | 直動形 | 直動形 | 直動形 | 直動形 | 直動形 | 直動形 |
| 有効断面積(mm2) | - | - | - | 8.5 | - | - | - | - | 0.1 ～ 0.45 | 5 | 0.6 | 1.5 | - | 4.5 | - | - |
| 配管口の種類 | フランジ | フランジ | NPT / JXR継手 / くい込み継手 | Rc | フランジ | Rc / NPT / フェースシール継手 / コンプレッション継手 | フランジ | フランジ | M | Rc | M | M / Rc | フランジ | ワンタッチ配管 | フランジ | フランジ |
| 配管ねじの呼び | - | - | 1/8 / 1/4 / 3/8 | 1/4 | - | 1/8 / 1/4 / 3/8 | - | - | M5 / M3 | 1/8 | M5 | M5 / 1/8 | - | - | - | - |
| 接続チューブ径 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | φ4 / φ6 | - | - |
| フランジ種類 | KF / K | KF / K | - | - | NW | - | KF | JIS | - | - | - | - | NW / その他 | - | NW | CF |
| フランジ呼び | 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | 16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | - | - | 16 / 25 / 40 / 50 | - | 16 / 25 | 10 / 48 / 52 | - | - | - | - | 40 / 70 | - | 25 | 70 |
| CV値 | - | - | 0.17 ～ 1.05 | 0.47 | - | - | - | - | 0.006 ～ 0.025 | 0.28 | 0.02 | 0.08 | - | - | 0.05 | - |
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