真空バルブ（ポート数：2ポート弁）

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  ＣＫＤ

  高真空用エアオペレイトバルブ AVBシリーズ

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  CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しました。【特長】・高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブです・アルミボディの採用で軽量、コンパクト・半導体業界 高真空用 エアオペレイトバルブ NC形 複動形 二段形【カタログはこちらをご参照ください】P.93 高真空用 エアオペレイトバルブ NC形 AVB※17シリーズP.97 高真空用 エアオペレイトバルブ 複動形 AVB※37シリーズP.101 高真空用エアオペレイトバルブ 二段形AVB※47シリーズ

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  空操真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル / ダブル	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	48,137円～
  通常出荷日 ：	3日目～

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  SMC

  ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

  評価 0.0

  圧力バランス構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  空操真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	40,255円～
  通常出荷日 ：	在庫品1日目～

  • 一部当日出荷可能

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  SMC

  アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFシリーズ

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  【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	31,959円～
  通常出荷日 ：	3日目～

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  SMC

  常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

  評価 0.0

  発塵を低減し、シール性能が向上した常時閉型高真空電磁弁 。【特長】・難燃性がある（UL94V-0準拠）・2種の継手（フェースシール継手・コンプレッション継手）、めねじ（Rc、NPT）を用意・スプリングを鉄心摺動部からボディ部へ移動することによりスプリングの接触による発塵を低減させました・大きなスプリング力で確実にシール・消費電力※：4.5W（サイズ1）/7W（サイズ2）/10.5W（サイズ3）（※DC仕様/B種の場合です。）・使用温度範囲：5～60℃

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  高真空用電磁弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	Rc / NPT / フェースシール継手 / コンプレッション継手

  通常価格(税別) ：	19,209円～
  通常出荷日 ：	在庫品1日目～

  • 一部当日出荷可能

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  SMC

  アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

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  ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  空操真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	66,431円～
  通常出荷日 ：	6日目～

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  SMC

  ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

  評価 0.0

  ガス溜まりのない精密鋳造一体構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・圧力バランス構造・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	43,164円～
  通常出荷日 ：	3日目～

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  SMC

  アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/ベローズシール XLCシリーズ

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  【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	34,424円～
  通常出荷日 ：	在庫品1日目～

  • 一部当日出荷可能

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  • 数量スライド割引

  SMC

  サクションアシストバルブ ZP2Vシリーズ

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  ワークがなくても真空圧力の低下を抑制する真空バルブ。【特長】・1つの真空発生器で真空パッドを多数個使用した場合に、未吸着状態のパッドがあっても、真空圧力の低下を抑制するため、ワークを保持・ワンタッチ管継手付を追加・ワーク変更による切換作業が不要・ワーク形状が異なる場合、制御回路の簡略化が可能・固定絞り径：0.3mm、0.5mm、0.7mm、1mm

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  空操真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	0.07 ～ 0.78	M / Rc / NPT / ワンタッチ配管

  通常価格(税別) ：	1,317円～
  通常出荷日 ：	在庫品1日目～

  • 一部当日出荷可能

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  SMC

  アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/Oリングシール XLGシリーズ

  評価 0.0

  【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	33,659円～
  通常出荷日 ：	6日目～

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  SMC

  アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFVシリーズ エアオペレートタイプ 電磁弁付

  評価 0.0

  【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  高真空用電磁弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	39,209円～
  通常出荷日 ：	19日目

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  SMC

  ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

  評価 0.0

  圧力バランス構造で、排気方向が自由な真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク（0.5N・m以下）・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  手動真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	42,767円～
  通常出荷日 ：	在庫品1日目～

  • 一部当日出荷可能

• 

  SMC

  アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ

  評価 0.0

  圧力バランス構造で、排気方向が自由な高真空L型バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク（0.5N・m以下）・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  手動真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	34,586円～
  通常出荷日 ：	在庫品1日目～

  • 一部当日出荷可能

• 

  ＣＫＤ

  高真空用電磁弁HVBシリーズ

  評価 0.0

  高い真空度保持力、優れた耐久性を備えた高真空用電磁弁。【特長】・耐久性200万回（メーカー条件）・長期連続使用にも高い性能を維持でき、信頼性に優れたハイクオリティなバルブ・真空漏れ1×10の‐9乗Pa・m3/s以下。内部、外部漏れ量が安定しており、高い真空度保持力を誇る・特殊パッキン採用。FKM製、シール寿命に優れている・高耐食。ボディにステンレスを採用・高い真空度保持力。低リークで、真空度保持力が安定。背圧使用可能（逆真空）一部機種を除く・シンプルな構造でメンテナンスが容易にできる【用途】・真空回路の切り替えに

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  高真空用電磁弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	NPT / JXR継手 / くい込み継手

  通常出荷日 ：	7日目～

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  • SALE 2025/03/31まで

  コガネイ

  制御機器角形電磁真空弁200シリーズ

  評価 0.0

  軽量かつコンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁です。【特長】・配管ポートと流れの方向に制約されないNC（常時閉）・NO（常時開）共用の2・3ポート弁としての用途のほか、セレクタ弁（2圧切換弁）や、デバイダ弁（分配弁）としても、その真価を発揮します・正圧との併用においても高い信頼性を発揮しますから、真空破壊用や強制離脱用バルブとしても最適です・ACソレノイドにはフライホイルダイオードを標準装備（DC24V用はオプション）ソレノイドの焼損やうなりを解消します・供給圧力を弁シート部でバランスさせている圧力バランスポペット方式を採用します・操作力が小さいため、高頻度作業に適し小形で大流量が得られます【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応

  CAD ：

  3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  電磁真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ	直動形	8.5	Rc

  通常価格(税別) ：	9,599円～
  特別価格
  通常出荷日 ：	在庫品1日目～

  • 一部当日出荷可能

• 

  SMC

  ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

  評価 0.0

  ポンプの過負荷運転を防止する真空バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバ内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取り付け（XMシリーズ）

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	67,871円～
  通常出荷日 ：	6日目～

• 

  SMC

  アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

  評価 0.0

  駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。【特長】・金属摺動部がないためダスト減少・圧力バランス構造で、排気方向自由・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率が小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  電磁真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	32,899円～
  通常出荷日 ：	在庫品1日目～

  • 一部当日出荷可能

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  • SALE 2025/03/31まで

  入江工研

  高真空アングルバルブ（複動・単動）

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  ALLステンレス使用で高い耐食性をもつアングル真空バルブ。【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されている。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない。・機能設計により大きなコンダクタンスが得られる。・片側回転フランジのため、取付けが容易（コンフラットフランジ）。・取り付け姿勢が自由（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨）。

  CAD ：

  3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  空操真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ / その他	直動形	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	38,221円～
  特別価格
  通常出荷日 ：	在庫品1日目～

  • 一部当日出荷可能

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  SMC

  アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

  評価 0.0

  ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  高真空用電磁弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	72,929円～
  通常出荷日 ：	19日目

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  • 数量スライド割引

  コガネイ

  スタンダード電磁弁182シリーズ（真空対応）

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  軽量、コンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁。【特長】・強制離脱や真空破壊のできる真空・正圧併用タイプもシリーズ化・外部パイロット方式の採用により、2・3ポート弁の多様な機能を満載・コンパクトなボディながらたくみな多芸多才ぶりを発揮・配管ポート位置と流れ方向に制約を受けないNC（常時閉）・NO（常時開）共用の2・3ポート弁・真空はもちろん、正圧と併用しても使用可能で、真空破壊や強制離脱用バルブとして使用可能【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  電磁真空弁	単体使用 / 多連	ダイレクト / マニホールドベース	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	外部パイロット形	10.2	Rc

  通常価格(税別) ：	7,399円～
  通常出荷日 ：	8日目

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  コガネイ

  《真空仕様》制御機器小形電磁弁G010シリーズ

  評価 0.0

  多様な制御ニーズに応えて､新たに正圧・常時開仕様と真空仕様をラインアッフﾟ！生産ラインの機械・装置にベストな制御系が選択可能になりました｡

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  電磁真空弁	単体使用 / 多連	ダイレクト / マニホールドベース	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ	直動形	0.1 ～ 0.45	M

  通常価格(税別) ：	4,228円～
  通常出荷日 ：	3日目～

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  ＣＫＤ

  高真空用電磁弁HVB6・7-12シリーズ

  評価 0.0

  高真空用の電磁弁。【特長】・NC（通電時開）形・接続口径：フランジΦ48、Φ52【用途】・真空及び不活性ガスの制御に最適

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  高真空用電磁弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	フランジ

  通常出荷日 ：	8日目～

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  コガネイ

  スタンダード電磁弁112シリーズ（真空対応）

  評価 0.0

  軽量、コンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁。【特長】・強制離脱や真空破壊のできる真空・正圧併用タイプもシリーズ化・外部パイロット方式の採用により、2・3ポート弁の多様な機能を満載・コンパクトなボディながらたくみな多芸多才ぶりを発揮・配管ポート位置と流れ方向に制約を受けないNC（常時閉）・NO（常時開）共用の2・3ポート弁・真空はもちろん、正圧と併用しても使用可能で、真空破壊や強制離脱用バルブとして使用可能【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  電磁真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	外部パイロット形	4.2	M

  通常価格(税別) ：	5,985円～
  通常出荷日 ：	8日目

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  コガネイ

  制御機器角形電磁真空弁050シリーズ

  評価 0.0

  軽量、コンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁です。【特長】・真空ラインの確実作動と耐久性を約束する、信頼のメカニズムです・使いやすいと信頼性を追求した合理的な機構が、高機能と確実作動を実現させました・正圧との併用においても高い信頼性を発揮しますから、真空破壊用や強制離脱用バルブとしても最適です・ACソレノイドにはフライホイルダイオードを標準装備（DC24V用はオプション）ソレノイドの焼損やうなりを解消します【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  電磁真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	1.5	M

  通常価格(税別) ：	8,042円
  通常出荷日 ：	3日目

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  コガネイ

  制御機器角形電磁真空弁電磁真空弁V030シリーズ

  評価 0.0

  耐久性と確実作動を実現した角形電磁真空弁。【特長】・軽量・コンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁・多連のバキュームパッドに1対1で対応可能・省スペース・低電流タイプ・結線方法が選択可能【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  電磁真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	0.6	M

  通常価格(税別) ：	4,585円～
  通常出荷日 ：	3日目

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  ＣＫＤ

  真空エジェクタユニット VSXPシリーズ

  評価 0.0

  軽量、コンパクトな外観、真空システムのハイサイクル化を実現した真空切換ユニット。【特長】・市場のニーズに応えた軽量、コンパクトな真空ユニット・真空ユニットVSXPの固定方法には、側面からネジ等により固定するダイレクトマウントタイプ、およびDINレールへの取付けが可能なDINレール取付タイプを用意・真空用圧力スイッチには、視認性の良いデジタル表示付真空用圧力スイッチを用意・デジタル表示付真空用圧力スイッチには、2点スイッチ出力付き、およびアナログ出力付きの2タイプを用意・様々な用途、コストに合わせた選択が可能【用途】・配線にはコネクタ方式を採用し、配線レイアウトを容易に行える

  CAD ：

  2D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  電磁真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	直動形	4.5	ワンタッチ配管

  通常出荷日 ：	8日目～

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  SMC

  スムーズベントバルブ（供給ライン） XVDシリーズ

  評価 0.0

  初期給気、主給気ともに流量調整可能なスムーズベントバルブ。【特長】・バルブとニードル弁一体化構造で配管スペースが1/4（従来比）・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減・弁の形式：常時閉（加圧開・スプリングシール）・使用流体：窒素、空気、不活性ガス等・使用温度：5～60℃（ベーキング温度、150℃以下）・質量：0.5kg

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  手動真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	4.6	くい込み継手

  通常価格(税別) ：	98,449円～
  通常出荷日 ：	6日目～

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  入江工研

  高真空L型バルブ（自動）2FLV

  評価 0.0

  【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されています。・全体がコンパクト設計により小型、軽量化されています。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPa の差圧でも漏れません。・取り付け姿勢が自由。（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨しております。）・機能設計により大きなコンダクタンスが得られます。・片側回転フランジのため、取付けが容易。（ コンフラットフランジ）

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  空操真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	110,810円
  通常出荷日 ：	6日目

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  アリオス

  タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

  評価 0.0

  停電時ポンプのオイルバック防止に最適な遅延リークバルブ。【特長】・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません。・RP,TMP等に直接取り付けることができます。・遅延時間が 25秒の Sタイプと 45秒の Lタイプ、2種類からご指定いただけます。・大気リーク及びN2等によるガスリークができます。・電源入力電圧は AC 90～260Vと DC 24V に対応しています。・インターロックバルブ （ILV-01） と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です。

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  遅延真空電磁弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルオープン	直動形	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	134,357円
  通常出荷日 ：	3日目

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  アリオス

  インターロックバルブ ILV-01シリーズ

  評価 0.0

  停電時の真空保管・安全対策に！【特長】・通電中は手動バルブとして機能します・電源のみで動作し、圧縮空気は不要です・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません・電源入力電圧が、AC90～260Vまで切り替えをせずにご使用いただけます・排気セットやリークディテクターのメインバルブに最適です・タイミングリークバルブ（TLV-02） と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  電磁真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルオープン	直動形	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	410,401円
  通常出荷日 ：	15日目～