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    • 2位置ノーマルオープン
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    • その他

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    • 直動形
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    • エアパイロット
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  • 有効断面積(mm2)

    A・Bポートの接続ﾁｭｰﾌﾞ径になります

    • 0.07
    • 0.1
    • 0.19
    • 0.2
    • 0.38
    • 0.45
    • 0.55
    • 0.6
    • 0.78
    • 1.5
    • 2.0
    • 2.5
    • 4
    • 4.2
    • 4.5
    • 4.6
    • 5
    • 5.5
    • 7.65
    • 8.3
    • 8.5
    • 10.2
    • 11
    • 15
    • 36
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    解除

  • 配管口の種類

  • 配管ねじの呼び

  • 接続チューブ径

  • フランジ種類

  • フランジ呼び

  • CV値

    • 0.0037940379
    • 0.006
    • 0.010298103
    • 0.011
    • 0.02
    • 0.020596206
    • 0.025
    • 0.03
    • 0.0422764228
    • 0.05
    • 0.08
    • 0.12
    • 0.17
    • 0.23
    • 0.27
    • 0.28
    • 0.33
    • 0.45
    • 0.47
    • 0.57
    • 0.6
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SMC 真空バルブ（種類：空操真空弁）

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  • ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

    SMC

    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

    評価 0.0
    圧力バランス構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) ： 40,255円～
    (税込価格) ： 44,281円～
    通常出荷日 ： 在庫品1日目～
    • 一部当日出荷可能

  • アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

    SMC

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

    評価 0.0
    アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れる
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト 3ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) ： 31,449円～
    (税込価格) ： 34,594円～
    通常出荷日 ： 在庫品1日目～
    • 一部当日出荷可能

  • アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

    SMC

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

    評価 0.0
    ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) ： 66,431円～
    (税込価格) ： 73,074円～
    通常出荷日 ： 6日目～

  • サクションアシストバルブ ZP2Vシリーズ

    • 数量スライド割引

    SMC

    サクションアシストバルブ ZP2Vシリーズ

    評価 0.0
    ワークがなくても真空圧力の低下を抑制する真空バルブ。【特長】・1つの真空発生器で真空パッドを多数個使用した場合に、未吸着状態のパッドがあっても、真空圧力の低下を抑制するため、ワークを保持・ワンタッチ管継手付を追加・ワーク変更による切換作業が不要・ワーク形状が異なる場合、制御回路の簡略化が可能・固定絞り径：0.3mm、0.5mm、0.7mm、1mm
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - 0.07 ～ 0.78 M / Rc / NPT / ワンタッチ配管
    通常価格(税別) ： 1,317円～
    (税込価格) ： 1,449円～
    通常出荷日 ： 在庫品1日目～
    • 一部当日出荷可能
メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格
(税別)
通常出荷日
種類
用途
設置方法
ポート数
ソレノイドの種類
切換の種類
電磁弁駆動の種類
有効断面積(mm2)
配管口の種類
配管ねじの呼び
接続チューブ径
フランジ種類
フランジ呼び
CV値

    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

      アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

        アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

          サクションアシストバルブ ZP2Vシリーズ

          メーカー

          SMC

          SMC

          SMC

          SMC

          シリーズ名

          ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

          アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

          アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

          サクションアシストバルブ ZP2Vシリーズ

          CAD
          • 2D / 3D
          • 2D / 3D
          • 2D / 3D
          • 2D / 3D
          通常価格
          (税別)

          40,255円～

          31,449円～

          66,431円～

          1,317円～

          • 数量別スライド値引
          通常出荷日 在庫品1日目～
          一部当日出荷可能          		 在庫品1日目～
          一部当日出荷可能          		 6日目～ 在庫品1日目～
          一部当日出荷可能
          種類空操真空弁空操真空弁空操真空弁空操真空弁
          用途単体使用単体使用単体使用単体使用
          設置方法ダイレクトダイレクトダイレクトダイレクト
          ポート数2ポート弁3ポート弁2ポート弁2ポート弁
          ソレノイドの種類----
          切換の種類2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ
          電磁弁駆動の種類----
          有効断面積(mm2)---0.07 ～ 0.78
          配管口の種類フランジフランジフランジM / Rc / NPT / ワンタッチ配管
          配管ねじの呼び---M5 / 1/8 / M6 / M8
          接続チューブ径---φ4 / φ6
          フランジ種類NW / その他NW / その他KF / K-
          フランジ呼び16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 8016 / 25 / 40 / 50 / 63 / 8025 / 40 / 50 / 63 / 80-
          CV値---0.0037940379 ～ 0.0422764228
          1. 1

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