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    • 2位置ノーマルオープン
    • 2位置ノーマルクローズ
    • その他

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    • 直動形
    • 外部パイロット形
    • エアパイロット
    • バキュームパイロット

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  • 有効断面積(mm2)

    A・Bポートの接続ﾁｭｰﾌﾞ径になります

    • 0.07
    • 0.1
    • 0.19
    • 0.2
    • 0.38
    • 0.45
    • 0.55
    • 0.6
    • 0.78
    • 1.5
    • 2.0
    • 2.5
    • 4
    • 4.2
    • 4.5
    • 4.6
    • 5
    • 5.5
    • 7.65
    • 8.3
    • 8.5
    • 10.2
    • 11
    • 15
    • 36
    • 55
    解除

  • 配管口の種類

  • 配管ねじの呼び

  • 接続チューブ径

  • フランジ種類

  • フランジ呼び

  • CV値

    • 0.0037940379
    • 0.006
    • 0.010298103
    • 0.011
    • 0.02
    • 0.020596206
    • 0.025
    • 0.03
    • 0.0422764228
    • 0.05
    • 0.08
    • 0.12
    • 0.17
    • 0.23
    • 0.27
    • 0.28
    • 0.33
    • 0.45
    • 0.47
    • 0.57
    • 0.6
    • 0.76
    • 1.05
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    • 2
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    • 3
    • 4
    • 7
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SMC 真空バルブ（種類：手動真空弁）

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  • ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

    SMC

    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

    評価 0.0
    圧力バランス構造で、排気方向が自由な真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク（0.5N・m以下）・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    手動真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) ： 42,767円～
    (税込価格) ： 47,044円～
    通常出荷日 ： 在庫品1日目～
    • 一部当日出荷可能

  • アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ

    SMC

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ

    評価 0.0
    圧力バランス構造で、排気方向が自由な高真空L型バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク（0.5N・m以下）・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    手動真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) ： 34,586円～
    (税込価格) ： 38,045円～
    通常出荷日 ： 在庫品1日目～
    • 一部当日出荷可能

  • スムーズベントバルブ（供給ライン） XVDシリーズ

    SMC

    スムーズベントバルブ（供給ライン） XVDシリーズ

    評価 0.0
    初期給気、主給気ともに流量調整可能なスムーズベントバルブ。【特長】・バルブとニードル弁一体化構造で配管スペースが1/4（従来比）・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減・弁の形式：常時閉（加圧開・スプリングシール）・使用流体：窒素、空気、不活性ガス等・使用温度：5～60℃（ベーキング温度、150℃以下）・質量：0.5kg
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    手動真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - 4.6 くい込み継手
    通常価格(税別) ： 98,449円～
    (税込価格) ： 108,294円～
    通常出荷日 ： 6日目～
メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格
(税別)
通常出荷日
種類
用途
設置方法
ポート数
ソレノイドの種類
切換の種類
電磁弁駆動の種類
有効断面積(mm2)
配管口の種類
配管ねじの呼び
接続チューブ径
フランジ種類
フランジ呼び
CV値

    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

      アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ

        スムーズベントバルブ（供給ライン） XVDシリーズ

        メーカー

        SMC

        SMC

        SMC

        シリーズ名

        ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

        アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ

        スムーズベントバルブ（供給ライン） XVDシリーズ

        CAD
        • 2D / 3D
        • 2D / 3D
        • 2D / 3D
        通常価格
        (税別)

        42,767円～

        34,586円～

        98,449円～

        通常出荷日 在庫品1日目～
        一部当日出荷可能        		 在庫品1日目～
        一部当日出荷可能        		 6日目～
        種類手動真空弁手動真空弁手動真空弁
        用途単体使用単体使用単体使用
        設置方法ダイレクトダイレクトダイレクト
        ポート数2ポート弁2ポート弁2ポート弁
        ソレノイドの種類---
        切換の種類2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ
        電磁弁駆動の種類---
        有効断面積(mm2)--4.6
        配管口の種類フランジフランジくい込み継手
        配管ねじの呼び--1/4
        接続チューブ径---
        フランジ種類KF / CFKF-
        フランジ呼び16 / 25 / 40 / 5016 / 25 / 40 / 50-
        CV値--84.87
        1. 1

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