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    • その他

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    A・Bポートの接続ﾁｭｰﾌﾞ径になります

    • 0.07
    • 0.1
    • 0.19
    • 0.2
    • 0.38
    • 0.45
    • 0.55
    • 0.6
    • 0.78
    • 1.5
    • 2.0
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    • 4.5
    • 4.6
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  • 配管口の種類

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  • フランジ呼び

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    • 0.006
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    • 0.011
    • 0.02
    • 0.020596206
    • 0.025
    • 0.03
    • 0.0422764228
    • 0.05
    • 0.08
    • 0.12
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    • 0.28
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SMC 真空バルブ（種類：電磁真空弁）

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  • アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

    SMC

    アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

    評価 0.0
    駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。【特長】・金属摺動部がないためダスト減少・圧力バランス構造で、排気方向自由・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率が小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) ： 32,899円～
    (税込価格) ： 36,189円～
    通常出荷日 ： 在庫品1日目～
    • 一部当日出荷可能
メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格
(税別)
通常出荷日
種類
用途
設置方法
ポート数
ソレノイドの種類
切換の種類
電磁弁駆動の種類
有効断面積(mm2)
配管口の種類
配管ねじの呼び
接続チューブ径
フランジ種類
フランジ呼び
CV値

    アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

    メーカー

    SMC

    シリーズ名

    アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

    CAD
    • 2D / 3D
    通常価格
    (税別)

    32,899円～

    通常出荷日 在庫品1日目～
    一部当日出荷可能
    種類電磁真空弁
    用途単体使用
    設置方法ダイレクト
    ポート数2ポート弁
    ソレノイドの種類シングル
    切換の種類2位置ノーマルクローズ
    電磁弁駆動の種類直動形
    有効断面積(mm2)-
    配管口の種類フランジ
    配管ねじの呼び-
    接続チューブ径-
    フランジ種類KF
    フランジ呼び16 / 25
    CV値-
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