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用途
- 単体使用
- 多連
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設置方法
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ポート数
- 2ポート弁
- 3ポート弁
- 5ポート弁
- 2ポート弁
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ソレノイドの種類
- シングル
- ダブル
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切換の種類
- 2位置ノーマルオープン
- 2位置ノーマルクローズ
- その他
- 2位置ノーマルオープン
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電磁弁駆動の種類
- 直動形
- 外部パイロット形
- エアパイロット
- バキュームパイロット
-
有効断面積(mm2)
A・Bポートの接続ﾁｭｰﾌﾞ径になります
- 0.07
- 0.1
- 0.19
- 0.2
- 0.38
- 0.45
- 0.55
- 0.6
- 0.78
- 1.5
- 2.0
- 2.5
- 4
- 4.2
- 4.5
- 4.6
- 5
- 5.5
- 7.65
- 8.3
- 8.5
- 10.2
- 11
- 15
- 36
- 55
-
配管ねじの呼び
-
接続チューブ径
-
フランジ種類
-
フランジ呼び
-
CV値
- 0.0037940379
- 0.006
- 0.010298103
- 0.011
- 0.02
- 0.020596206
- 0.025
- 0.03
- 0.0422764228
- 0.05
- 0.08
- 0.12
- 0.17
- 0.23
- 0.27
- 0.28
- 0.33
- 0.45
- 0.47
- 0.57
- 0.6
- 0.76
- 1.05
- 1.6
- 2
- 2.7
- 3
- 4
- 7
- 10
- 15
- 17
- 20
- 27
- 30
- 50
- 84.87
-
CAD
- 2D
- 3D
SMC 真空バルブ（配管口の種類：フランジ）
- 表示件数:
- 並び替え:
- 出荷日:
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-
SMC
ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ
評価 0.0圧力バランス構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常価格(税別) ： 40,255円～ (税込価格) ： 44,281円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目～ - 一部当日出荷可能
-
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ
評価 0.0アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れる種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 3ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常価格(税別) ： 31,449円～ (税込価格) ： 34,594円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目～ - 一部当日出荷可能
-
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/ベローズシール XLCシリーズ
評価 0.0【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常価格(税別) ： 34,424円～ (税込価格) ： 37,866円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目～ - 一部当日出荷可能
-
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ
評価 0.0ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常価格(税別) ： 66,431円～ (税込価格) ： 73,074円～ 通常出荷日 ： 6日目～ -
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ 電磁弁付
評価 0.0アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れる種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ エアパイロット - フランジ 通常価格(税別) ： 40,185円～ (税込価格) ： 44,204円～ 通常出荷日 ： 19日目 -
SMC
アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFシリーズ
評価 0.0【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常価格(税別) ： 31,959円～ (税込価格) ： 35,155円～ 通常出荷日 ： 3日目～ -
SMC
アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFVシリーズ エアオペレートタイプ 電磁弁付
評価 0.0【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ 通常価格(税別) ： 39,209円～ (税込価格) ： 43,130円～ 通常出荷日 ： 19日目 -
SMC
ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ
評価 0.0ガス溜まりのない精密鋳造一体構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・圧力バランス構造・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常価格(税別) ： 43,164円～ (税込価格) ： 47,480円～ 通常出荷日 ： 3日目～ -
SMC
ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ
評価 0.0圧力バランス構造で、排気方向が自由な真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク（0.5N・m以下）・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 手動真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常価格(税別) ： 42,767円～ (税込価格) ： 47,044円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目～ - 一部当日出荷可能
-
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ
評価 0.0ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ 通常価格(税別) ： 72,929円～ (税込価格) ： 80,222円～ 通常出荷日 ： 19日目 -
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ
評価 0.0圧力バランス構造で、排気方向が自由な高真空L型バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク（0.5N・m以下）・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 手動真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常価格(税別) ： 34,586円～ (税込価格) ： 38,045円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目～ - 一部当日出荷可能
-
SMC
ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD
評価 0.0ポンプの過負荷運転を防止する真空バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバ内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取り付け（XMシリーズ）種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常価格(税別) ： 67,871円～ (税込価格) ： 74,658円～ 通常出荷日 ： 6日目～ -
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/Oリングシール XLGシリーズ
評価 0.0【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常価格(税別) ： 33,659円～ (税込価格) ： 37,025円～ 通常出荷日 ： 6日目～ -
SMC
アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ
評価 0.0駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。【特長】・金属摺動部がないためダスト減少・圧力バランス構造で、排気方向自由・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率が小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ 通常価格(税別) ： 32,899円～ (税込価格) ： 36,189円～ 通常出荷日 ： 在庫品1日目～ - 一部当日出荷可能
| メーカー |
|---|
| シリーズ名 |
| CAD |
| 通常価格 (税別) |
| 通常出荷日 |
| 種類 |
| 用途 |
| 設置方法 |
| ポート数 |
| ソレノイドの種類 |
| 切換の種類 |
| 電磁弁駆動の種類 |
| 有効断面積(mm2) |
| 配管口の種類 |
| 配管ねじの呼び |
| 接続チューブ径 |
| フランジ種類 |
| フランジ呼び |
| CV値 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| |
| メーカー | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC | SMC |
| シリーズ名 | ||||||||||||||
| CAD |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 通常価格 (税別) | 40,255円～ | 31,449円～ | 34,424円～ | 66,431円～ | 40,185円～ | 31,959円～ | 39,209円～ | 43,164円～ | 42,767円～ | 72,929円～ | 34,586円～ | 67,871円～ | 33,659円～ | 32,899円～ |
| 通常出荷日 |
在庫品1日目～
一部当日出荷可能 |
在庫品1日目～
一部当日出荷可能 |
在庫品1日目～
一部当日出荷可能 | 6日目～ | 19日目 | 3日目～ | 19日目 | 3日目～ |
在庫品1日目～
一部当日出荷可能 | 19日目 |
在庫品1日目～
一部当日出荷可能 | 6日目～ | 6日目～ |
在庫品1日目～
一部当日出荷可能 |
| 種類 | 空操真空弁 | 空操真空弁 | パイロット真空弁 | 空操真空弁 | 高真空用電磁弁 | パイロット真空弁 | 高真空用電磁弁 | パイロット真空弁 | 手動真空弁 | 高真空用電磁弁 | 手動真空弁 | パイロット真空弁 | パイロット真空弁 | 電磁真空弁 |
| 用途 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 | 単体使用 |
| 設置方法 | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト | ダイレクト |
| ポート数 | 2ポート弁 | 3ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 3ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 | 2ポート弁 |
| ソレノイドの種類 | - | - | - | - | シングル | - | シングル | - | - | シングル | - | - | - | シングル |
| 切換の種類 | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ | 2位置ノーマルクローズ |
| 電磁弁駆動の種類 | - | - | - | - | エアパイロット | - | 直動形 | - | - | 直動形 | - | - | - | 直動形 |
| 有効断面積(mm2) | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 配管口の種類 | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ | フランジ |
| 配管ねじの呼び | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 接続チューブ径 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
| フランジ種類 | NW / その他 | NW / その他 | KF / K | KF / K | NW / その他 | KF / K | KF / K | KF / K / CF | KF / CF | KF / K | KF | KF / K / CF | KF / K | KF |
| フランジ呼び | 16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | 16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | 16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | 16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | 16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | 16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | 16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | 16 / 25 / 40 / 50 | 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | 16 / 25 / 40 / 50 | 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | 16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80 | 16 / 25 |
| CV値 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
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