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    • シングル
    • ダブル
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  • 切換の種類

    • 2位置ノーマルオープン
    • 2位置ノーマルクローズ
    • その他

    解除

  • 電磁弁駆動の種類

    • 直動形
    • 外部パイロット形
    • エアパイロット
    • バキュームパイロット

    解除

  • 有効断面積(mm2)

    A・Bポートの接続ﾁｭｰﾌﾞ径になります

    • 0.07
    • 0.1
    • 0.19
    • 0.2
    • 0.38
    • 0.45
    • 0.55
    • 0.6
    • 0.78
    • 1.5
    • 2.0
    • 2.5
    • 4
    • 4.2
    • 4.5
    • 4.6
    • 5
    • 5.5
    • 7.65
    • 8.3
    • 8.5
    • 10.2
    • 11
    • 15
    • 36
    • 55
    解除

  • 配管口の種類

  • 配管ねじの呼び

  • 接続チューブ径

  • フランジ種類

  • フランジ呼び

  • CV値

    • 0.0037940379
    • 0.006
    • 0.010298103
    • 0.011
    • 0.02
    • 0.020596206
    • 0.025
    • 0.03
    • 0.0422764228
    • 0.05
    • 0.08
    • 0.12
    • 0.17
    • 0.23
    • 0.27
    • 0.28
    • 0.33
    • 0.45
    • 0.47
    • 0.57
    • 0.6
    • 0.76
    • 1.05
    • 1.6
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    • 2.7
    • 3
    • 4
    • 7
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    • 20
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    • 84.87
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SMC 真空バルブ（電磁弁駆動の種類：直動形）

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  • 常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

    SMC

    常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

    評価 0.0
    発塵を低減し、シール性能が向上した常時閉型高真空電磁弁 。【特長】・難燃性がある（UL94V-0準拠）・2種の継手（フェースシール継手・コンプレッション継手）、めねじ（Rc、NPT）を用意・スプリングを鉄心摺動部からボディ部へ移動することによりスプリングの接触による発塵を低減させました・大きなスプリング力で確実にシール・消費電力※：4.5W（サイズ1）/7W（サイズ2）/10.5W（サイズ3）（※DC仕様/B種の場合です。）・使用温度範囲：5～60℃
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - Rc / NPT / フェースシール継手 / コンプレッション継手
    通常価格(税別) ： 19,209円～
    (税込価格) ： 21,130円～
    通常出荷日 ： 在庫品1日目～
    • 一部当日出荷可能

  • アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFVシリーズ エアオペレートタイプ 電磁弁付

    SMC

    アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFVシリーズ エアオペレートタイプ 電磁弁付

    評価 0.0
    【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) ： 39,209円～
    (税込価格) ： 43,130円～
    通常出荷日 ： 19日目

  • アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

    SMC

    アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

    評価 0.0
    駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。【特長】・金属摺動部がないためダスト減少・圧力バランス構造で、排気方向自由・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率が小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) ： 32,899円～
    (税込価格) ： 36,189円～
    通常出荷日 ： 在庫品1日目～
    • 一部当日出荷可能

  • アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

    SMC

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

    評価 0.0
    ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト
    CAD ：
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) ： 72,929円～
    (税込価格) ： 80,222円～
    通常出荷日 ： 19日目
メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格
(税別)
通常出荷日
種類
用途
設置方法
ポート数
ソレノイドの種類
切換の種類
電磁弁駆動の種類
有効断面積(mm2)
配管口の種類
配管ねじの呼び
接続チューブ径
フランジ種類
フランジ呼び
CV値

    常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

      アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFVシリーズ エアオペレートタイプ 電磁弁付

        アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

          アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

          メーカー

          SMC

          SMC

          SMC

          SMC

          シリーズ名

          常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ

          アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFVシリーズ エアオペレートタイプ 電磁弁付

          アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

          アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ

          CAD
          • 2D / 3D
          • 2D / 3D
          • 2D / 3D
          • 2D / 3D
          通常価格
          (税別)

          19,209円～

          39,209円～

          32,899円～

          72,929円～

          通常出荷日 在庫品1日目～
          一部当日出荷可能          		 19日目 在庫品1日目～
          一部当日出荷可能          		 19日目
          種類高真空用電磁弁高真空用電磁弁電磁真空弁高真空用電磁弁
          用途単体使用単体使用単体使用単体使用
          設置方法ダイレクトダイレクトダイレクトダイレクト
          ポート数2ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁
          ソレノイドの種類シングルシングルシングルシングル
          切換の種類2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ
          電磁弁駆動の種類直動形直動形直動形直動形
          有効断面積(mm2)----
          配管口の種類Rc / NPT / フェースシール継手 / コンプレッション継手フランジフランジフランジ
          配管ねじの呼び1/8 / 1/4 / 3/8---
          接続チューブ径----
          フランジ種類-KF / KKFKF / K
          フランジ呼び-16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 8016 / 2525 / 40 / 50 / 63 / 80
          CV値----
          1. 1

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