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基本情報
【特長】
・到達圧力性能を追究した高真空タイプのダイアフラム型真空ポンプ。
・接ガス部にPTFEを採用。耐食性に優れ、有機溶媒や腐食性ガスの吸引に対応。
・広域ターボ分子ポンプの補助ポンプとして使用可能。
・排気速度(実効)：50Hz：20L/min 60Hz：23L/min
・到達圧力(Pa)：2.00×10^2
・電源：1φ 100V(50/60Hz)
・吸気管径(mm)：O.Dφ10×I.D.φ6(Rc1/8)
・最大寸法・重量：W161×D327×H217mm・7.5kg
- 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。
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