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マスフローコントローラー （流量計・液面計）

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アズワン

アズワン

マスフローコントローラー （流量計・液面計）

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型番

3-5072-02 解除

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製品特長・仕様

製品の基本仕様・特長

型式C1000（マスフローコントローラー）
流量レンジ10SCCM～5SLM
バルブ型式ノーマルオープン
流量制御範囲5～100%F.S.
流量精度±2%F.S.（精度保証範囲+15～+35℃）
流量設定信号流量に比例 0.25～5VDC
流量出力信号流量に比例 0～5VDC
再現性±0.2%F.S.
応答性6sec（設定値の±2%まで）
動作圧力範囲50～300kPa
耐圧1MPa
外部リークレート1×10-7Pa・m3/sec（He）以下
使用可能温度+5～+50℃ 85%RH以下
（精度保証：+15～+35℃）
取付姿勢指定なし
駆動電源+15VDC±5% DC60mA
-15VDC±5% DC150mA
通信方式アナログ0～5VDC
（D-Sub9Pinコネクタ）
接ガス部材質SUS316 PTFEフッ素ゴム
シール部材質フッ素ゴム
アクチュエータ方式サーマル
表面処理機械加工仕上げ
標準継手1/4in.SWL、1/4in.F900（127±1mm）
1/4in.V-Lok（127±1mm）
1/4in.VCR、1/4in.UJR（124±1mm）

※アズワン社では流量（SCCM、SLM）は0℃、101.3kPa bs.（1atm）に換算して校正しています。
※温度影響の基準は25℃です。

外部入出力仕様：D-sub9コネクタ

  • 1.NC
  • 2.流量出力信号
  • 3.供給電源+15V
  • 4.電源0VDC（COMMON）
  • 5.供給電源-15V
  • 6.流量設定信号
  • 7.流量出力信号COMMON
  • 8.流量設定信号COMMON
  • 9. NC

※未使用端子（NC）は、使用しないで下さい。
使用コネクタ：17 JE-23090-02-D1
メーカー：DDK
適合コネクタ：17 JE-13090-02-D1-A
メーカー：DDK

外形図

マスフローコントローラー 外形図

使用方法・使用事例

使用方法

  • （1）配管接続：
    ガスラインヘの接続は本体の⇒の向きに従い、スパナ等適切な工具で締め付けて固定して下さい。
  • （2）電気（コネクタ）接続：
    「外部入出力仕様」に従い、接続を行って下さい。供給電源の容量は仕様書に記載している電流値以上の物をご使用下さい。
  • （3）点検：
    配管及び配線接続後、配管にリークはないか、又コネクタにゆるみ等の接触不良がないか必ず点検して下さい。
  • （4）暖気：
    電源投入後、約30分以上の暖気を行って下さい。暖気後、ゼロ点調整を行うことをお勧めします。
  • （5）流量制御：
    本体が十分に暖気されガスの供給を開始し、設定電圧を印加すると設定電圧に応じた流量制御を開始します。
    設定流量（%）=（設定流量÷FS流量）×100
  • （6）停止：
    本製品は、シートリーク保証はありません。別途バルブにてガスの停止を行って下さい。
  • （7）ゼロ点調整：
    ゼロ点調整は本体上面にあります。調節口から小型のマイナスドライバーで調整して下さい。
    ゼロ点調整時は、ガスの流れを完全に停止した状態で行って下さい。
    ガスの流れがある状態でのゼロ点調整を実行すると、正確なゼロ調整が行えず流量ずれの原因になります。

注意・禁止事項

電気配線（結線）に際しては誤配線なきよう、配線の確認を行って下さい。誤配線（結線）は本体の故障だけではなく、火災の危険があります。

警告

  • （1）供給電源電圧は必ず仕様に記載された範囲内で使用して下さい。
  • （2）分解、改造はしないで下さい。
  • （3）電機配線（結線）に際しては、説明書に記載されている内容を確認の上、正しく配線（結線）して下さい。
  • （4）本製品は、防爆仕様ではありません。可燃性ガス、爆発性ガス、腐食ガスが発生、充満している場所およびその周辺では使用しないで下さい。
  • （5）動作周囲温度、湿度は仕様に記載された範囲内で使用して下さい。

注意

  • （1）配管に接続後、配管系にリークが無いことを確認し、配管内のパージを確実におこなって下さい。
  • （2）本製品は、精密な電子、機械部品で構成されています。落としたり強い衝撃を与えないで下さい。
  • （3）電源投入後必要な精度を得るため約30分以上の暖気を行って下さい。
  • （4）配管からの不純物の侵入を防止するため、上流側にはガスフィルターのご使用をお勧めします。
  • （5）外部接続コネクタの脱着は必ず電源を切った状態でおこなって下さい。
 
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  • 応答速度

    解除
    • 6sec

  • 外部リークレート

    解除
    • 1×10-7Pa･m3／sec（He）以下

  • 再現性

    解除
    • ±0.2％FS

  • 通信方式

    解除
    • アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）

  • 動作圧力範囲

    解除
    • 50～300kPa

  • 入出力

    解除
    • アナログ信号（0～5VDC）

  • 流量制御範囲

    解除
    • 5～100％FS

  • 流量精度

    解除
    • ±2％FS（精度保証範囲15～35℃）

  • 商品詳細種別

    解除
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    • 2SLM-H2
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    • 3-5064-13
    • 3-5065-01
    • 3-5065-02
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3-5072-02

127×25.5×100
1MPa（G）
N2
-
N／Oノーマルオープン
5SLM-N2
6sec
1×10-7Pa･m3／sec（He）以下
±0.2％FS
アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
50～300kPa
アナログ信号（0～5VDC）
5～100％FS
±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
5SLM-N2
接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
＋15VDC±5％　60mA、－15VDC±5％　150mA
1／4in.SWL相当

1個

104,000円( 114,400円 )

-

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基本情報

【特長】
・熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです
・スタート時のフローサージ現象を抑制します

(i)ご注意

  • 取扱説明書は右上のPDFより参照できます

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