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剛性・精度
標準

高剛性・高精度
解除

特性
銅系・ふっ素樹脂系材料不使用(一部メッキ対応)

クリーンルーム
解除

許容運動エネルギー(J)
0.005未満

0.005～0.01未満

0.01～0.1未満

0.1～1未満

1～50未満
解除

チューブ呼び径
Φ6

Φ8

Φ10

Φ12

Φ15

Φ18

Φ21

Φ25

Φ28

Φ32

Φ40
解除

許容運動エネルギー2(J)
0.001

0.0015

0.002

0.006

0.007

0.025

0.039

0.048

0.081

0.116

0.240

0.294

0.320

0.560

1.100

1.600

2.9
解除

形式
アジャストボルト付

ショックアブソーバ付
解除

サイズ
1

2

3

7

10

20

30

50

70

100

200
解除

接続ポート位置
側面ポート

正面ポート
解除

スイッチ
F8B

F8N

F8P

M9B

M9BA

M9BAV

M9BV

M9BW

M9BWV

M9N

M9NA

M9NAV

M9NV

M9NW

M9NWV

M9P

M9PA

M9PV

M9PW

M9PWV

A90

A90V

A93

A93V

A96

A96V

オートスイッチなし（磁石内蔵）
解除

リード線(m)
0.5

1

3

5

なし
解除

スイッチ数
1ヶ付

2ヶ付

3ヶ付

4ヶ付

なし
解除

ポートの種類
NPT1/8

Rc1/8

M3

M5
解除

コネクタ種類
M12-4ピン

なし
解除

種別
クリーンシリーズ（バキュームタイプ）

銅・フッ素・シリコン系不可+低発塵（バキュームタイプ）

銅系・フッ素系不可仕様
解除

タイプ
11-MSQA

11-MSQB

20-MSQA

20-MSQB

22-MSQA

22-MSQB
解除

CAD
2D

3D
解除
出荷日
- すべて
- 19日以内
解除

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追加工・オプション

SMC

ロータリテーブルラックピニオンタイプクリーン・低発塵 11-/20-/22-MSQシリーズ

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カタログ

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通常価格(税別): 23,757円～ 92,948円

税込価格: 26,133円～ 102,243円

【11-シリーズクリーンシリーズ】・クリーン環境に対応・クリーンルーム内への...

詳細情報を確認する

揺動角度 A：

190°
種類：

ロータリーテーブル2点停止
本体形状：

ブロック形
作動方式：

ダブルラック
バルブ：

なし

(i)ご注意

■SMC エアシリンダ製品の選定・技術情報
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外形図

MSQ

■サイズ10,20,30,50 基本形／MSQB□A

ロータリテーブルラックピニオンタイプクリーン・低発塵 11-/20-/22-MSQシリーズ外形図10

■サイズ70,100,200 基本形／MSQB□A

ロータリテーブルラックピニオンタイプクリーン・低発塵 11-/20-/22-MSQシリーズ外形図8

11-／22-MSQ

■サイズ1,2,3,7 基本形／11-MSQB□A

ロータリテーブルラックピニオンタイプクリーン・低発塵 11-/20-/22-MSQシリーズ外形図2

■サイズ10,20,30,50 基本形／11-MSQB□A、22-MSQB□A

ロータリテーブルラックピニオンタイプクリーン・低発塵 11-/20-/22-MSQシリーズ外形図11

製品仕様

仕様（MSQ）

サイズ		10	20	30	50	70	100	200
使用流体		空気（無給油）
最高使用圧力	アジャストボルト付	1MPa
最高使用圧力	内部アブソーバ付	0.6MPa^注1）
最低使用圧力	基本形	0.1MPa
最低使用圧力	高精度形	0.2MPa	0.1MPa			-
周囲温度および使用流体温度		0～60℃（ただし凍結なきこと）
クッション	アジャストボルト付	ラバークッション
	内部アブソーバ付	ショックアブソーバ
	アブソーバ型番	RBA0805-X692	RBA1006-X692		RBA1411-X692	RBA2015-X821		RBA2725-X821
角度調整範囲		0～190°^注2）
最大揺動角度		190°
シリンダ内径		φ15	φ18	φ21	φ25	φ28	φ32	φ40
ポートサイズ	端面ポート	M5×0.8		Rc1/8、G1/8、NPT1/8
ポートサイズ	側面ポート	M5×0.8

注1）アブソーバの最大許容推力によりアクチュエータの最高使用圧力が制限されます。
注2）内部アブソーバ付の揺動角度を下表の値より小さく設定しますと、アブソーバの有効ストロークよりもピストンのストロークが小さくなり、エネルギー吸収能力が低下しますのでご注意ください。

サイズ	10	20	30	50	70	100	200
エネルギー吸収能力が低下しない最小揺動角度	52°	43°	40°	60°	71°	62°	82°

仕様（11-／22-MSQ）

サイズ		1	2	3	7	10	20	30	50
使用流体		空気（無給油）
最高使用圧力	アジャストボルト付	0.7MPa				1MPa
最高使用圧力	ショックアブソーバ付	-				0.6MPa
最低使用圧力	基本形	0.1MPa
最低使用圧力	高精度形	0.1MPa				0.2MPa	0.1MPa
周囲温度および使用流体温度		0～60℃（ただし凍結なきこと）
クッション	アジャストボルト付	なし		ラバークッション
クッション	ショックアブソーバ付	-				ショックアブソーバ
許容運動エネルギー（mJ）	アジャストボルト付	1	1.5	2	6	7	25	48	81
許容運動エネルギー（mJ）	ショックアブソーバ付	-				39	116	116	294
角度調整範囲		0～190℃
最大揺動角度		190℃
揺動時間調整範囲	アジャストボルト付	0.2～0.7s/90°			0.2～1.0s/90°
揺動時間調整範囲	ショックアブソーバ付	-				0.2～0.7s/90°
ポートサイズ		M3×0.5			M5×0.8			Rc1/8・M5×0.8
使用グリース		11-：ふっ素系グリース 22-：リチウム石けん基系グリース
清浄度クラス（ISOクラス）		11-：クラス3 22-：クラス3

11-／22-MSQ 型番表示方法

■サイズ1,2,3,7

ロータリテーブルラックピニオンタイプクリーン・低発塵 11-/20-/22-MSQシリーズ製品仕様3

■サイズ10,20,30,50

ロータリテーブルラックピニオンタイプクリーン・低発塵 11-/20-/22-MSQシリーズ製品仕様4

規格表

単位：mm

MSQ

■サイズ10,20,30,50 基本形／MSQB□A

サイズ	AA	A	AU	AV	AW	AX	AY	BA	BB	BC	BD	BE	CA	CB	D	DD	DE	DF
10	55.4	50	6.6	20	15.5	12	4	9.5	34.5	27.8	60	27	4.5	28.5	45h9	46h9	20H9	6
20	70.8	65	7.6	27.5	16	14	5	12	46	30	76	34	6	30.5	60h9	61h9	28H9	9
30	75.4	70	7.6	29	18.5	14	5	12	50	32	84	37	6.5	33.5	65h9	67h9	32H9	12
50	85.4	80	10	28	22	19	6	15.5	63	37.5	100	50	10	37.5	75h9	77h9	35H9	13

サイズ	DG	FA	FB	FC	FD	H	J	JA	JB	JC	JD	JJ	JU	P	Q
10	15H9	8	4	3	4.5	13	6.8	11	6.5	M8×1.25	12	M5×0.8	M8×1	M5×0.8	34
20	17H9	10	6	2.5	6.5	17	8.6	14	8.5	M10×1.5	15	M6×1	M10×1	M5×0.8	37
30	22H9	10	4.5	3	6.5	17	8.6	14	8.5	M10×1.5	15	M6×1	M10×1	Rc1/8^※	40
50	26H9	12	5	3	7.5	20	10.5	18	10.5	M12×1.75	18	M8×1.25	M14×1.5	Rc1/8^※	46

サイズ	S	SD	SE	SF	SU	UU	WA	WB	WC	WD	WE	WF	XA	XB	XC	YA	YB	YC
10	92	9	13	45	17.7	47	15	3H9	3.5	M5×0.8	8	32	27	3H9	3.5	19	3H9	3.5
20	117	10	12	60	25	54	20.5	4H9	4.5	M6×1	10	43	36	4H9	4.5	24	4H9	4.5
30	127	11.5	14	65	25	57	23	4H9	4.5	M6×1	10	48	39	4H9	4.5	28	4H9	4.5
50	152	14.5	15	75	31.4	66	26.5	5H9	5.5	M8×1.25	12	55	45	5H9	5.5	33	5H9	5.5

※Rc1/8以外に、G1/8、NPT1/8も選択可能です。

■サイズ70,100,200 基本形／MSQB□A

サイズ	AA	AB	A	AV	AW	AX	AY	BA	BB	BC	BD	BE	CB	D	DD	DE
70	90	92	84	42	25.5	27	8	17	75	44.5	110	57	36	88h9	90h9	46H9
100	101	102	95	50	29.5	27	8	17	85	50.5	130	66	42	98h9	100h9	56H9
200	119	120	113	60	36.5	36	10	24	103	65.5	150	80	57	116h9	118h9	64H9

サイズ	DF	DG	FA	FB	FC	FD	H	J	JA	JB	JC	JD	JJ	JK	JU	Q	S
70	16	22H9	12.5	5	3.5	9	22	10.4	17.5	10.5	M12×1.75	18	M8×1.25	10	M20×1.5	53	170
100	19	24H9	14.5	6	3.5	12	27	10.4	17.5	10.5	M12×1.75	18	M8×1.25	10	M20×1.5	59	189
200	24	32H9	16.5	9	5.5	15	32	14.2	20	12.5	M16×2	25	M12×1.75	13	M27×1.5	74	240

サイズ	SD	SF	SU	UU	WA	WB	WC	WD	WE	WF	XA	XB	XC	YA	YB	YC
70	18	79	34.2	75	32.5	5H9	5.5	M8×1.25	12.5	67	54	5H9	3.5	39	5H9	3.5
100	22	90	34.3	86	37.5	6H9	6.5	M10×1.5	14.5	77	59	6H9	4.5	49	6H9	4.5
200	29	108	40.2	106	44	8H9	8.5	M12×1.75	16.5	90	69	8H9	4.5	54	8H9	6.5

11-／22-MSQ

■サイズ1,2,3,7 基本形／11-MSQB□A

サイズ	A	AU	AV	AW	AX	AY	BA	BB	BC	BD	BE	BG	BH	BI	BJ	BK	D	DD	DE
1	28	2.8	11	8.2	5.5	1.5	35	39.6	4.5	32	17	11	8.2	30	4.5	5.3	27h9	27.5h9	14H9
2	30	3.6	12.6	9.2	7	2	37	45.1	5.5	34	18.5	12.6	9.2	35	4.5	7.5	29h9	29.5h9	14H9
3	34.5	4.4	15.5	10.5	8	2.5	43	46.7	5.5	38	23	15.5	10.5	40	4.5	9.5	33h9	34h9	17H9
7	41	4.8	18.4	12.2	10	3	50	59.2	5.5	45	30	18.4	12.2	50	5	7	39h9	40h9	20H9

サイズ	FA	FB	FD	H	J	JA	JB	JC	JD	JE	JF	JG	JJ	JK	JU	P
1	4.8	2	3.7	9	3.3	6	3.5	M4×0.7	2.2	5.3	M4×0.7	4	M3×0.5	3.5	M3×0.5	M3×0.5
2	5.3	2.5	4.2	10	3.3	6	3.5	M4×0.7	2.2	5.3	M4×0.7	4	M3×0.5	3.5	M4×0.7	M3×0.5
3	5.3	2.5	4.2	10	4.2	7.5	4.5	M5×0.8	2.5	6	M4×0.7	4	M3×0.5	3.5	M5×0.8	M3×0.5
7	6.5	2.5	4.5	11.5	4.2	7.5	4.5	M5×0.8	2.5	6	M5×0.8	5	M4×0.7	4.5	M6×1	M5×0.8

サイズ	PA	Q	S	SD	SF	SU	UU	WA	WB	WC	WD	WE	WF	XA	XB	XC	YA	YB	YC
1	M3×0.5	16	50.5	10.8	24.4	9.4	25	9.5	2H9	2	M3×0.5	4.8	20	22.5	2H9	2	11	2H9	2
2	M3×0.5	18	56	13.4	26.2	11.3	28	10	2H9	2	M3×0.5	5.3	21	24.5	2H9	2	11.5	2H9	2
3	M3×0.5	20.5	60	15.2	31	11.8	30.5	12	2H9	2	M3×0.5	5.3	25	27	2H9	2	13.5	2H9	2
7	M5×0.8	23	73.5	15.4	37.4	14.9	34.5	14	3H9	3	M4×0.7	6.5	29	32.5	3H9	3	15.5	3H9	3

■サイズ10,20,30,50 基本形／11-MSQB□A、22-MSQB□A

サイズ	AA	A	AU	AV	AW	AX	AY	BA	BB	BC	BD	BE	CA	CB	D	DD	DE
10	55.4	50	6.6	20	15.5	12	4	9.5	34.5	27.8	60	27	4.5	28.5	45h9	46h9	20H9
20	70.8	65	7.6	27.5	16	14	5	12	46	29	76	34	6	30.5	60h9	61h9	28H9
30	75.4	70	7.6	29	18.5	14	5	12	50	32	84	37	6.5	33.5	65h9	67h9	32H9
50	85.4	80	10	38	22	19	6	15.5	63	37.5	100	50	10	37.5	75h9	77h9	35H9

サイズ	DF	DG	FA	FB	H	HC	J	JA	JB	JC	JD	JJ	JU	P	Q	S
10	35h9	17	8	4	20	5	6.8	11	6.5	M8×1.25	12	M5×0.8	M8×1	M5×0.8	34	92
20	40h9	19	10	6	22	6	8.6	14	8.5	M10×1.5	15	M6×1	M10×1	M5×0.8	37	117
30	48h9	24	10	4.5	22	6	8.6	14	8.5	M10×1.5	15	M6×1	M10×1	Rc1/8	40	127
50	54h9	28	12	5	24	7	10.5	18	10.5	M12×1.75	18	M8×1.25	M14×1.5	Rc1/8	46	152

サイズ	SD	SE	SF	SU	UU	WA	WB	WC	WD	WE	WF	XA	XB	XC	YA	YB	YC
10	9	13	45	17.7	59	15	3H9	3.5	M5×0.8	8	32	27	3H9	3.5	19	3H9	3.5
20	10	12	60	25	65	20.5	4H9	4.5	M6×1	10	43	36	4H9	4.5	24	4H9	4.5
30	11.5	14	65	25	68	23	4H9	4.5	M6×1	10	48	39	4H9	4.5	28	4H9	4.5
50	14.5	15	75	31.4	77	26.5	5H9	5.5	M8×1.25	12	55	45	5H9	5.5	33	5H9	5.5

商品特長詳細

クリーンシリーズ（11-MSQ）

ボディ側面のバキュームポートから真空吸引することで、製品内部の発塵をクリーンルーム内に飛散させません。
クリーンシリーズには回転中心部の中空穴はありません。

型番リスト

表示件数:

型番	剛性・精度	特性	許容運動エネルギー(J)	チューブ呼び径	許容運動エネルギー2(J)	形式	サイズ	接続ポート位置	スイッチ	リード線(m)	スイッチ数	ポートの種類	コネクタ種類	種別	最小発注数量	通常単価(税別)(税込単価) 価格の安い順価格の高い順解除	通常出荷日早い順遅い順解除

11-MSQA1A

1個

23,757円( 26,133円 )

19日目

11-MSQA1A-F8PZ

1個

28,772円( 31,649円 )

19日目

11-MSQA1A-M9B

1個

28,091円( 30,900円 )

19日目

11-MSQA1A-M9BL

1個

28,601円( 31,461円 )

19日目

11-MSQA1A-M9BW

1個

28,517円( 31,369円 )

19日目

11-MSQA1A-M9N

1個

28,261円( 31,087円 )

19日目

11-MSQA1A-M9NL

1個

28,771円( 31,648円 )

19日目

11-MSQA1A-M9NLS

1個

26,265円( 28,892円 )

19日目

11-MSQA1A-M9NV

1個

30,950円( 34,045円 )

19日目

11-MSQA1A-M9NVL

1個

32,741円( 36,015円 )

19日目

11-MSQA1A-M9NW

1個

28,517円( 31,369円 )

19日目

11-MSQA1A-M9P

1個

28,262円( 31,088円 )

19日目

11-MSQA1A-M9PV

1個

28,771円( 31,648円 )

19日目

11-MSQA1AE

1個

23,757円( 26,133円 )

19日目

11-MSQA1AE-M9B

1個

28,091円( 30,900円 )

19日目

11-MSQA1AE-M9NL

1個

28,771円( 31,648円 )

19日目

11-MSQA1AE-M9NW

1個

28,517円( 31,369円 )

19日目

11-MSQA1AE-M9NWS

1個

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1個

35,814円( 39,395円 )

19日目

詳細情報

基本情報

基本情報

【11-シリーズクリーンシリーズ】
・クリーン環境に対応
・クリーンルーム内への発塵を防止

【20-シリーズ銅系・フッ素系不可仕様】
・銅材質、フッ素材質を嫌う環境での使用に対応
・外形寸法は標準品と同一

【22-シリーズ銅・フッ素・シリコン系不可+低発塵】
・銅系、フッ素系、シリコン系材質の規制のある環境に対応
・構造はクリーンシリーズと同等（グリース、包装形態はクリーンシリーズと異なります）

(i)ご注意

■SMC エアシリンダ製品の選定・技術情報
特集ページは　こちら　から、ご確認下さい。

■SMC製品取扱いについて
Webページが無い製品については順次公開を予定しています。
型番が決まっている方は　こちら　から、お見積/ご注文下さい。
スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
商品画像は代表画像を掲載しています。詳細形状はカタログをご参照ください。
CADデータは、一部の型番には対応しておりません。

カタログ

一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細はメーカーカタログをご覧ください。

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メーカー	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	SMC	コガネイ	SMC	SMC	ＣＫＤ	SMC	SMC	クロダニューマティクス
通常価格	23,757円～	22,099円～	30,387円～	26,094円～	31,789円～	36,251円～	9,611円～	29,580円	10,152円	-	17,212円	2,189円～	26,119円～
通常出荷日	19日目	19日目	19日目	19日目	19日目	在庫品1日目～当日出荷可能	在庫品1日目～当日出荷可能	19日目	9日目	3日目～	19日目	在庫品1日目～当日出荷可能	3日目～
揺動角度 A	190°	-	-	-	190°	-	-	-	-	-	-	-	-
種類	ロータリーテーブル2点停止	ロータリーアクチュエータ両側軸出力	-	ロータリーアクチュエータ片側軸出力	ロータリーテーブル2点停止	ロータリーテーブル2点停止	ロータリーアクチュエータ片側軸出力	-	-	-	ロータリーアクチュエータ両側軸出力	-	ロータリーアクチュエータ片側軸出力
本体形状	ブロック形	円筒形	ブロック形	円筒形	ブロック形	ブロック形	円筒形	ブロック形	円筒形	円筒形	円筒形	-	円筒形
作動方式	ダブルラック	-	シングルラック	-	ダブルラック	ダブルラック	シングルベーン	ダブルラック	-	-	-	-	-
バルブ	なし	なし	なし	なし	なし	なし	なし	なし	なし	-	なし	-	なし

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ロータリテーブルラックピニオンタイプクリーン・低発塵 11-/20-/22-MSQシリーズのレビュー

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