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    • なし
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  • 仕様

    • 300万回長寿命（常温時）

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    • インサート式（ボディなし）
    • カセット式（ハーフメスクボディ）
    • カセット式（標準ボディ）

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  • 材質

    • SUS316
    • AM350
    • Kalrez（R）4079
    • Kalrez（R）4079（ゲート部シール）
    • A6063
    • FKM
    • FKM（ゲート部シール）

    解除

  • オートスイッチ

    • D-A93
    • なし

    解除

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    • OPEN／CLOSEエンドロック
    • なし

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    • XGTP300
    • XGTP311
    • XGTP312
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    • すべて
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    解除
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追加工・オプション

SMC

SMC

300mmウエハ対応 平行シール型スリットバルブ XGTPシリーズ

300mmウエハ対応 平行シール型スリットバルブ XGTPシリーズ

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通常価格(税別)
2,859円 ～ 799,933円
税込価格
3,145円 ～ 879,926円

平行シール型スリットバルブ XGTPシリーズです。【特長】・長寿命：300万回...

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型番

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  • CADデータ未対応

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商品情報

外形図

300mmウエハ対応 平行シール型スリットバルブ XGTPシリーズ 外形図

製品仕様

型式表示方法

300mmウエハ対応 平行シール型スリットバルブ XGTPシリーズ 型番表示方法

仕様

型番XGTP31□-50336
ウエハサイズ mm300
開口窓寸法（高さ×幅） mm50×336
軸数1
使用環境圧力注1） Pa（abs）大気圧～1.0×10-6
作動差圧 kPa4以下
操作圧力 MPa（G）0.45～0.6
内部リーク注2） Pa・m3/sOリング：FKM6.5×10-10
Oリング：Kalrez®6.5×10-9
逆圧時内部リーク注2） Pa・m3/s
［逆圧力：0.1MPa（abs）以下］		Oリング：FKM6.5×10-8
Oリング：Kalrez®6.5×10-7
外部リーク注2） Pa・m3/s6.5×10-11
使用温度注3） ℃ ゲート部20～120／～150（ベーキング時）
アクチュエータ部20～90（ただしオートスイッチは除く）
使用流体不活性ガス
作動時間注4）s0.6～1
主な真空部材質シール材FKM、Kalrez® 4079（オプション）注5）
ベローズAM350
ゲートA6063
ボディA5052
ボンネットA6061
その他SUS304
排気方向自由
取付方向垂直
操作ポート接続口径Rc1/8
エンドロック機構開閉位置ロック機構付
シリンダ容積 L0.2
質量 kgインサート式（ボディなし）10
カセット式（標準ボディ）14
カセット式（ハーフメスクボディ）14

注1）絶対圧力
注2）常温時値：ガス透過を除きます。
注3）ゲート部が90℃を超える場合は、アクチュエータ部の使用温度範囲を超えてしまうことがありますので、その際はアクチュエータ部を冷却してください。
注4）切換弁を切換後に、ゲート開状態からゲート閉状態まで、およびゲート閉状態からゲート開状態までの時間を示します。（ただし、作動条件により異なる）
注5）Kalrez® は米国デュポン社、デュポン（株）または関連会社の登録商標です。

オートスイッチ仕様

オートスイッチ型番D-A93
適用負荷リレー、PLC
負荷電圧DC24VAC100V
負荷電流範囲および最大負荷電流5～40mA5～20mA
接点保護回路なし
内部降下電圧2.4V以下（～20mA）／3V以下（40mA）
インジケータランプON時赤色発光ダイオード点灯

注） 60℃を超える場合は、耐熱仕様（オーダーメイド）をご使用ください。

Dサブコネクタ仕様

項目平行シール型スリットバルブ本体側相手側
Dサブコネクタコンタクト区分ピン（オス形）ソケット（メス形）
シェルサイズE
極数9

平行シール型スリットバルブ本体はピンコンタクト（オス形）ですので、ソケットコンタクト（メス形）をご用意ください。

コネクタ配線図

■C：マルチコネクタ（6P）

300mmウエハ対応 平行シール型スリットバルブ XGTPシリーズ マルチコネクタ
端子番号リード線色オートスイッチ
1青OPEN（-）
2茶OPEN（+）
3--
4--
5茶CLOSE（+）
6青CLOSE（-）

■F：Dサブコネクタ（9P）

300mmウエハ対応 平行シール型スリットバルブ XGTPシリーズ Dサブコネクタ
端子番号リード線色オートスイッチ
1茶OPEN（+）
2茶CLOSE（+）
3--
4--
5--
6--
7青OPEN（-）
8青CLOSE（-）
9--

注意・禁止事項

  • ご使用の前には「取扱説明書」を必ずお読みください。

型番リスト

表示件数:
  1. 1
型番
サイズ
関連部品種類
コネクタ種類
仕様
バルブ型式
材質
オートスイッチ
エンドロック
最小発注数量
通常単価(税別)(税込単価)
  • 価格の安い順
  • 価格の高い順
  • 解除
通常
出荷日
  • 早い順
  • 遅い順
  • 解除
-
固定ボルト
-
-
-
SUS316
-
-

1個

2,859円( 3,145円 )

19日目

-
Oリング（ボンネットAss'y）
-
-
-
FKM
-
-

1個

9,433円( 10,376円 )

19日目

-
Oリング（ゲート部）
-
-
-
FKM
-
-

1個

8,838円( 9,722円 )

19日目

-
Oリング（ボディ開口面）
-
-
-
FKM
-
-

1個

9,433円( 10,376円 )

19日目

-
Oリング（ゲート部）
-
-
-
Kalrez（R）4079
-
-

1個

107,689円( 118,458円 )

19日目

-
ゲート
-
-
-
A6063
-
-

1個

37,439円( 41,183円 )

19日目

-
ベローズ
-
-
-
AM350
-
-

1個

161,366円( 177,503円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
インサート式（ボディなし）
FKM（ゲート部シール）
なし
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

515,150円( 566,665円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
インサート式（ボディなし）
FKM（ゲート部シール）
D-A93
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

519,358円( 571,294円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
インサート式（ボディなし）
FKM（ゲート部シール）
D-A93
なし

1個

516,455円( 568,101円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
マルチコネクタ（AMP）
300万回長寿命（常温時）
インサート式（ボディなし）
FKM（ゲート部シール）
D-A93
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

498,386円( 548,225円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
Dサブコネクタ
300万回長寿命（常温時）
インサート式（ボディなし）
FKM（ゲート部シール）
D-A93
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

524,800円( 577,280円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
インサート式（ボディなし）
FKM（ゲート部シール）
なし
なし

1個

512,247円( 563,472円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
インサート式（ボディなし）
Kalrez（R）4079（ゲート部シール）
なし
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

610,344円( 671,378円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
インサート式（ボディなし）
Kalrez（R）4079（ゲート部シール）
D-A93
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

614,552円( 676,007円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
インサート式（ボディなし）
Kalrez（R）4079（ゲート部シール）
D-A93
なし

1個

611,649円( 672,814円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
Dサブコネクタ
300万回長寿命（常温時）
インサート式（ボディなし）
Kalrez（R）4079（ゲート部シール）
D-A93
なし

1個

586,031円( 644,634円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
カセット式（標準ボディ）
FKM（ゲート部シール）
なし
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

695,090円( 764,599円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
カセット式（標準ボディ）
FKM（ゲート部シール）
D-A93
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

699,298円( 769,228円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
カセット式（標準ボディ）
FKM（ゲート部シール）
D-A93
なし

1個

696,395円( 766,035円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
マルチコネクタ（AMP）
300万回長寿命（常温時）
カセット式（標準ボディ）
FKM（ゲート部シール）
D-A93
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

704,740円( 775,214円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
マルチコネクタ（AMP）
300万回長寿命（常温時）
カセット式（標準ボディ）
FKM（ゲート部シール）
D-A93
なし

1個

701,837円( 772,021円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
Dサブコネクタ
300万回長寿命（常温時）
カセット式（標準ボディ）
FKM（ゲート部シール）
D-A93
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

704,740円( 775,214円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
Dサブコネクタ
300万回長寿命（常温時）
カセット式（標準ボディ）
FKM（ゲート部シール）
D-A93
なし

1個

666,512円( 733,163円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
カセット式（標準ボディ）
FKM（ゲート部シール）
なし
なし

1個

692,187円( 761,406円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
カセット式（標準ボディ）
Kalrez（R）4079（ゲート部シール）
なし
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

790,283円( 869,311円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
カセット式（標準ボディ）
Kalrez（R）4079（ゲート部シール）
D-A93
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

794,492円( 873,941円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
カセット式（標準ボディ）
Kalrez（R）4079（ゲート部シール）
D-A93
なし

1個

791,589円( 870,748円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
マルチコネクタ（AMP）
300万回長寿命（常温時）
カセット式（標準ボディ）
Kalrez（R）4079（ゲート部シール）
D-A93
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

799,933円( 879,926円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
Dサブコネクタ
300万回長寿命（常温時）
カセット式（標準ボディ）
Kalrez（R）4079（ゲート部シール）
D-A93
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

759,671円( 835,638円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
Dサブコネクタ
300万回長寿命（常温時）
カセット式（標準ボディ）
Kalrez（R）4079（ゲート部シール）
D-A93
なし

1個

756,914円( 832,605円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
カセット式（ハーフメスクボディ）
FKM（ゲート部シール）
なし
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

695,090円( 764,599円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
カセット式（ハーフメスクボディ）
FKM（ゲート部シール）
D-A93
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

699,298円( 769,228円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
カセット式（ハーフメスクボディ）
FKM（ゲート部シール）
D-A93
なし

1個

696,395円( 766,035円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
マルチコネクタ（AMP）
300万回長寿命（常温時）
カセット式（ハーフメスクボディ）
FKM（ゲート部シール）
D-A93
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

704,740円( 775,214円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
Dサブコネクタ
300万回長寿命（常温時）
カセット式（ハーフメスクボディ）
FKM（ゲート部シール）
D-A93
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

669,268円( 736,195円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
カセット式（ハーフメスクボディ）
FKM（ゲート部シール）
なし
なし

1個

657,347円( 723,082円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
カセット式（ハーフメスクボディ）
Kalrez（R）4079（ゲート部シール）
D-A93
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

794,492円( 873,941円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
なし
300万回長寿命（常温時）
カセット式（ハーフメスクボディ）
Kalrez（R）4079（ゲート部シール）
D-A93
なし

1個

791,589円( 870,748円 )

19日目

高さ50×幅366mm（開口窓）
スリットバルブ
マルチコネクタ（AMP）
300万回長寿命（常温時）
カセット式（ハーフメスクボディ）
Kalrez（R）4079（ゲート部シール）
D-A93
OPEN／CLOSEエンドロック

1個

759,671円( 835,638円 )

19日目

  1. 1

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詳細情報

基本情報

平行シール型スリットバルブ XGTPシリーズです。
【特長】
・長寿命：300万回（常温時）
・発塵量：1/5以下に低減
・空気消費量22％削減
・容易なベローズ交換
・トップアクセスからのゲート交換が可能
・メカ式エンドロック機構採用

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                        座金組込み 小ねじ（ステンレス）

                          E-サート ユニファイ（UNF）

                          E-サート ユニファイ（UNF）
                            メーカー SMC SMC フジ・テクノロジー インフィコン ミスミ ミスミ ミスミ 鍋屋バイテック グーリング ツガミ マーベル 丸ヱム製作所 ツガミ
                            通常価格 2,859円～ 268円～ 6,212円～ 18,400円 760円～ 820円～ 1,120円～ 451円～ 2,260円～ 128円 1,094円～ 2,917円～ 160円
                            通常出荷日 19日目   在庫品1日目～   当日出荷可能 10日目   在庫品1日目   当日出荷可能 在庫品1日目   当日出荷可能 在庫品1日目   当日出荷可能 在庫品1日目   当日出荷可能 4日目   3日目   在庫品1日目   当日出荷可能 5日目～   3日目～   在庫品1日目   当日出荷可能

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