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    • 100.1～150.0

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    • 40.1～50.0
    • 50.1～75.0

    解除

  • 最大積載質量(kg)

    • 1
    • 5

    解除

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    • 150
    • 200
    • 250
    • 300
    • 350
    • 400
    • 450
    • 500
    • 600
    • 700

    解除

  • テーブルサイズ 長さ(mm)

    • 67
    • 90

    解除

  • テーブルサイズ 幅(mm)

    • 69
    • 115

    解除

  • テーブルサイズ 高さ

    • 45
    • 75

    解除

  • タイプ

    • CYV15
    • CYV32

    解除

  • CAD

    • 2D
    • 3D

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    • すべて
    • 19日以内
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SMC

SMC

真空ロッドレスシリンダ CYVシリーズ

真空ロッドレスシリンダ CYVシリーズ

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通常価格(税別)
148,919円 ～ 310,631円
税込価格
163,811円 ～ 341,694円

真空環境内での搬送に使用可能な低発塵のエアシリンダ。【特長】・真空チャンバ内に...

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(i)ご注意

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型番

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商品情報

外形図

真空ロッドレスシリンダ CYVシリーズの寸法図

製品仕様

真空ロッドレスシリンダ CYVシリーズの外観

製品仕様

  • 使用環境圧力：大気～1.3×10-4Pa（ABS）
  • 使用環境雰囲気（※1）：空気および不活性ガス
  • 使用流体（※1）：空気および不活性ガス
  • 作動形式：複動形
  • 保証耐圧力：0.5MPa
  • 使用圧力範囲：0.05～0.3MPa
  • リーク量：1.3×10-7Pa・m3/sec以下（常温時、ガス透過を除く）
  • 最高ベーキング温度（※2、※3）：100℃
  • 周囲および使用流体温度：-10～+60℃（ただし、凍結なきこと）
  • 使用ピストン速度（MAX）（※4）：50～300mm/s
  • ストローク調整量：各片側-2～0mm（両側で-4～0mm）
  • クッション：サインクッション（エアクッション）
  • 潤滑方法：リニアガイド部、シリンダチューブ内真空グリース
  • ※1：使用環境雰囲気および使用流体は空気を推奨しますが、その他不活性ガスの場合は、製品寿命などが異なることがあります。
  • ※2：本ベーキングは、シリンダ作動前のベーキング限定となります。シリンダ作動においては、-10～+60℃の温度範囲としてください。
  • ※3：ベーキング温度100℃を超える場合は、SMCサポートセンターへお問い合わせください。
  • ※4：上記使用ピストン速度は、最大速度を示します。ストローク端におけるスライドテーブル動き出しから、クッションストロークを抜け出すまで、約0.5秒（片側）および両端で約1秒かかります。

質量一覧

CYV15の標準ストローク

  • 100mm：1.2kg
  • 150mm：1.4kg
  • 200mm：1.6kg
  • 250mm：1.7kg
  • 300mm：1.9kg
  • 350mm：2kg
  • 400mm：2.2kg
  • 450mm：2.4kg
  • 500mm：2.5kg
  • 600mm：2.8kg
  • 700mm：3.2kg

CYV32の標準ストローク

  • 100mm：4.2kg
  • 150mm：4.6kg
  • 200mm：5kg
  • 250mm：5.5kg
  • 300mm：5.9kg
  • 350mm：6.3kg
  • 400mm：6.7kg
  • 450mm：7.1kg
  • 500mm：7.5kg
  • 600mm：8.3kg
  • 700mm：9.1kg

理論出力一覧

チューブ内径15mm／受圧面積176mm2の理論出力

  • 使用圧力0.1MPa：18N
  • 使用圧力0.2MPa：35N
  • 使用圧力0.3MPa：53N

チューブ内径32mm／受圧面積804mm2の理論出力

  • 使用圧力0.1MPa：80N
  • 使用圧力0.2MPa：161N
  • 使用圧力0.3MPa：241N

構造

CYV15の構造図

CYV15

CYV32の構造図

CYV32

番号部品名材質備考
（1）磁石A--
（2）ピストン側ヨーク圧延鋼板亜鉛クロメート
（3）ピストン真鍮／アルミ合金カニゼン／クロメート
（4）ピストンパッキンふっ素ゴム-
（5）ウェアリング特殊軸受-
（6）シャフトステンレス-
（7）クッションリングステンレス／真鍮-／カニゼン
（8）磁石B-TINコーティング
（9）外部移動子側ヨーク圧延鋼材無電解Niめっき
（10）ホールドスペーサアルミ合金無電解Niめっき
（11）スライドテーブルアルミ合金無電解Niめっき
（12）挿入ガイド板ステンレス-
（13）十字穴付ナベ小ねじステンレス-
（14）サイドプレートAアルミ合金無電解Niめっき
（15）サイドプレートBアルミ合金無電解Niめっき
（16）六角穴付ボルトステンレス-
（17）バネ座金ステンレス-
（18）平座金ステンレス-
（19）プレートAアルミ合金無電解Niめっき
（20）プレートBアルミ合金無電解Niめっき
（21）クッションパッキンふっ素ゴム-
（22）インナーカバーアルミ合金無電解Niめっき
（23）シリンダチューブガスケットふっ素ゴム-
（24）Oリングふっ素ゴム-
（25）Oリングふっ素ゴム-
（26）六角穴付止めねじステンレス-
（27）六角穴付ボルトステンレス-
（28）平座金ステンレス-
（29）十字穴付ナベ小ねじステンレス-
（30）六角穴付ボルトステンレス-
（31）軌道台アルミ合金無電解Niめっき
（32）シリンダチューブアルミ合金無電解Niめっき
（33）チューブ固定金具アルミ合金無電解Niめっき
（34）六角穴付ボルトステンレス-
（35）平座金ステンレス-
（36）六角穴付ボルトステンレス-
（37）平座金ステンレス-
（38）トップカバーアルミ合金無電解Niめっき
（39）クッションパッキンホルダアルミ合金クロメート
（40）Oリングふっ素ゴム-
（41）Oリングふっ素ゴム-
（42）リニアガイドステンレス-
（43）押エ板アルミ合金硬質アルマイト
  • ※ 構成部品の材質および備考欄の左がCYV15、右がCYV32を示します。

規格表

単位：mm

型番ABCEEDEKFGHHAHIHLHPJJKKLLD
CYV15810.56.46H9（0～+0.030）9.5412.51045232337.644M6×11021675.6
CYV32121610.24H9（0～+0.030）13625975393963.373.5M10×1.51220909.2
型番LWMMMNPPAPBPCQQWRTTATBTCWYZ
CYV1569M4×0.764.55/16-24UNF25601011248453020150.5692.5132
CYV32115M6×187.57/16-20UNF50100121478379.53422.5200.51153.5165

注）カタログの製品個別注意事項（クッション効果〈サインクッション〉とストロークの調整）をご参照ください。

使用例

真空ロッドレスシリンダ CYVシリーズの使用例

※上図イメージイラストは、本シリンダの設置方法の一例イメージです。ただし、すべての真空チャンバ使用条件を満足するものではありません。

商品特長詳細

非接触構造で、シリンダチューブ外周面とスライドテーブル内周面が接触しない構造のため摺動による発塵が皆無

非接触構造で、シリンダチューブ外周面とスライドテーブル内周面が接触しない構造のため摺動による発塵が皆無

特殊シリンダチューブ ロングストローク（MAX.700mm）

特殊シリンダチューブ ロングストローク（MAX.700mm）

アルミ押出材を使用した特殊シリンダチューブを採用
軌道台へ直接固定したことにより、ロングストロークでもたわむことがなく、リニアガイドとの組合わせで非接触構造を実現

Oリングシールで真空-大気を隔壁

Oリングシールで真空-大気を隔壁

※ストローク微調整を行うため、真空-大気隔離部にOリングをしています。

ストローク端での微調整が可能 片側-2～0（両側-4～0）mm調整可能

ストローク端での微調整が可能
片側-2～0（両側-4～0）mm調整可能

注意・禁止事項

  • ※ 二重包装されたクリーンシリーズの内側の包装開封は、クリーンルーム内または清浄な雰囲気中で行ってください。
  • ※ シリンダを設置する際は、素手で行わないでください。放出ガス特性を損なう場合があります。
  • ※ チャンバ内での部品交換、分解作業は配管内の圧縮空気をクリーンルーム外に排気し終わってから行ってください。
  • ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照ください。

型番リスト

表示件数:
  1. 1
型番
シリンダ内径(φ)
ストローク（範囲）(mm)
最大積載質量（範囲）(kg)
テーブルサイズ幅 （範囲）(mm)
テーブルサイズ高さ（範囲）(mm)
最大積載質量(kg)
ストローク(mm)
テーブルサイズ 長さ(mm)
テーブルサイズ 幅(mm)
テーブルサイズ 高さ
最小発注数量
通常単価(税別)(税込単価)
  • 価格の安い順
  • 価格の高い順
  • 解除
通常
出荷日
  • 早い順
  • 遅い順
  • 解除
15
501～1000
～1.0
50.1～75.0
40.1～50.0
1
600
67
69
45

1個

210,544円( 231,598円 )

19日目

15
501～1000
～1.0
50.1～75.0
40.1～50.0
1
700
67
69
45

1個

222,869円( 245,156円 )

19日目

32
501～1000
1.1～5.0
100.1～150.0
50.1～75.0
5
600
90
115
75

1個

295,161円( 324,677円 )

19日目

32
501～1000
1.1～5.0
100.1～150.0
50.1～75.0
5
700
90
115
75

1個

310,631円( 341,694円 )

19日目

  1. 1

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詳細情報

基本情報

真空環境内での搬送に使用可能な低発塵のエアシリンダ。
【特長】
・真空チャンバ内に設置可能なため、搬送システムのコンパクト化、シンプル化に貢献。
・ステンレス製リニアガイド＆低発塵真空グリース。
・初期発塵の低減し、ストロークエンドでの低発塵化。
・摺動による外部リークのないマグネット式ロッドレスシリンダを採用。
・表面処理による放出ガスの低減化し、樹脂系素材を排除。
・チューブ内径15mm：磁石保持力／59N。配管接続口径／5/16-24UNF。
・チューブ内径32mm：磁石保持力／268N。配管接続口径／7/16-20UNF。

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                            メーカー SMC SMC SMC コガネイ SMC SMC SMC CHELIC（チェリック） SMC SMC SMC SMC SMC
                            通常価格 148,919円～ 858円～ 1,089円～ 61,483円 1,827円～ - 1,389円～ - 58,324円～ 78,709円～ 688円～ 688円～ 1,981円～
                            通常出荷日 19日目   在庫品1日目～   当日出荷可能 3日目～   在庫品1日目   当日出荷可能 在庫品1日目～   当日出荷可能 在庫品1日目～   当日出荷可能 在庫品1日目～   当日出荷可能 14日目～   19日目   19日目   在庫品1日目～   当日出荷可能 在庫品1日目～   当日出荷可能 3日目～  
                            種類 ロッドレスシリンダ - - ロッドレスシリンダ - - - ロッドレスシリンダ ロッドレスシリンダ ロッドレスシリンダ - - -
                            ロッドレスシリンダ ジョイント形式 マグネット式 - - メカジョイント式 - - - マグネット式 メカジョイント式 マグネット式 - - -
                            ガイド方式 リニアガイド形 - - カムフォロア - - - スライドガイド カムフォロアガイド形 基本形 - - -
                            テーブル材質 アルミニウム合金 - - アルミニウム - - - アルミ合金 アルミニウム合金 アルミニウム合金 - - -
                            特性 真空 - - なし - - - なし なし なし - - -

                            真空ロッドレスシリンダ CYVシリーズのレビュー

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