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スムーズベントバルブ（供給ライン） XVDシリーズ

スムーズベントバルブ（供給ライン） XVDシリーズ

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通常価格(税別)
98,449円 ～ 100,883円
税込価格
108,294円 ～ 110,971円

初期給気、主給気ともに流量調整可能なスムーズベントバルブ。【特長】・バルブとニ...

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    ■SMC製品取扱いについて
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  • スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
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型番

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商品情報

外形図

単位：mm

スムーズベントバルブ（供給ライン） XVDシリーズの寸法図

製品仕様

XVD2-02Sの外観

XVD2-02S

XVD2-02Vの外観

XVD2-02V

スムーズベントバルブ（供給ライン） XVDシリーズの表示記号

表示記号

型番XVD2-02VXVD2-02S
使用圧力 Pa1×10-6（abs）～0.2MPa（G）
オリフィス径 mmφ3（オリフィス径3mm）
有効断面積 mm2主給気4.6
初期給気0.2～4.6
リーク量 Pa･m3/s内部5×10-9常温時・ガス透過を除く
外部1.3×10-11常温時・ガス透過を除く
継手1.3×10-111.3×10-10
配管接続方式VCR用Swagelok用
配管サイズ1/4
主な材質ボディ：SUS316L 要部：SUS316L、SUS304、FKM（シール材）
内部表面処理ボディ：EP処理
パイロット圧力 MPa（G）0.4～0.7（主給気・初期給気共）
パイロットポート（M,S）接続口径M5×0.8

構造･作動

スムーズベントバルブ（供給ライン） XVDシリーズの構造･作動

■初期給気流量の設定

初期給気ロックねじ（15）をマイナスドライバで軽く止まるまで反時計方向に緩め、初期給気アジャストナット（4）を時計回りで回し続け、回転トルクを感じる近くの銘板とアジャストナットのマークが合った所が、初期給気流量の最小流量になる。（工場出荷時、最小流量位置に設定されている。この位置以上、初期給気アジャストナット（4）を締め込むと、流体が流れない／内部部品の破損等の可能性があるので、注意すること。）
初期給気メモリ板（17）の角度合わせ目盛と初期給気アジャストナット（4）の位置を確認後に反時計回転で初期給気量を設定する。回転数と流量特性に従い初期給気流量を設定する。設定後は初期給気ロックねじ（15）を0.5N-cmのトルクで締めてロックする。

■主給気流量の設定

主給気ロックねじ（16）をマイナスドライバで緩め、主給気アジャストナット（5）をマイナスドライバなどで自由に回転する事を確認する。主給気アジャストナット（5）を時計回りで回し続け、停止した所が初期給気の設定量となる。主給気メモリ板（18）の角度合わせ目盛と主給気アジャストナット（5）の位置を確認後に反時計回転で主給気流量を設定する。設定後は主給気ロックねじ（16）を0.3N-cmのトルクで締めてロックする。

■初期給気の供給

IN（1）ポート側から充填された気体は、初期スプリング（11）により開閉弁ピストン（10）を押下げ、ダイヤフラム（7）と弁座（6）をシールさせ気体を止める。パイロットポートS（20）にパイロット圧力を加える。パイロット圧力は開閉ピストン（10）の下部に充填され、開閉弁ピストン（10）は規定量移動し停止する。開閉弁ピストン（10）が移動することにより、ダイヤフラム（7）は弁座（6）から離脱し気体が流れる。流れ始めた気体はポペット弁（8）とポペット座（9）との隙間（初期給気設定量）を通りOUT（2）ポート側へ流れる。

■主給気の供給

初期給気弁用パイロットポート（20）にパイロット圧力を加えた状態で、パイロットポートM（19）にパイロット圧力を加える。パイロット圧力はポペット弁ピストン（12）の下部に充填され、ポペット弁ピストン（12）は上動し主給気アジャストナット（5）に当たり停止する。ポペット弁ピストン（12）が移動することにより連結されたポペット弁（8）は初期給気調整位置からさらに移動しより多くの気体がOUT（2）ポート側へ流れる。

■初期・主給気の停止

回転数と流量特性

回転数と流量特性

初期給気、主給気は同時に停止可能。パイロットポートS（20）からの排気により主スプリング（13）の力で、開閉弁ピストン（10）が下方に移動しダイヤフラム（7）と弁座（6）が閉じ、気体の供給を停止する。パイロットポートM（19）からの排気により初期スプリング（11）の力で、ポペット弁ピストン（12）が下方に移動し、初期給気の設定位置に戻る。

備考1：主給気の供給は初期給気弁用パイロットポートS（19）に加圧状態で行う。
備考2：機構上初期給気量を大きくすると、主給気量の範囲が減少する。

注意・禁止事項

  • ※ ボディおよびベローズ材質はSUS316L、その他流体接触部はSUS304、PCTFE、シール材はFKMです。使用材質を確認の上、支障のない流体をご使用ください。
  • ※ 使用圧力範囲内でご使用ください。
  • ※ 供給圧力が0.2MPa（G）より超えますとリーク原因となります。供給側の圧力を減圧弁などで設定される場合には、減圧弁からのリークによる昇圧対策を講じてください。
  • ※ 初期給気流量の設定は最小流量位置以上締込まないでください。破損および、ガス溜まり部（ベローズ室）の置換特性が低下することによる真空チャンバ内真空到達時間の増加原因となります。
  • ※ 高湿度の雰囲気の場合は、配管直前まで梱包状態を維持してください。
  • ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照下さい。

型番リスト

表示件数:
  1. 1
型番
配管口の種類
最小発注数量
通常単価(税別)(税込単価)
  • 価格の安い順
  • 価格の高い順
  • 解除
通常
出荷日
  • 早い順
  • 遅い順
  • 解除
[くい込み継手] Swagelok用

1個

100,883円( 110,971円 )

19日目

[くい込み継手] VCR用

1個

98,449円( 108,294円 )

6日目

  1. 1

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詳細情報

基本情報

初期給気、主給気ともに流量調整可能なスムーズベントバルブ。
【特長】
・バルブとニードル弁一体化構造で配管スペースが1/4（従来比）
・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減
・弁の形式：常時閉（加圧開・スプリングシール）
・使用流体：窒素、空気、不活性ガス等
・使用温度：5～60℃（ベーキング温度、150℃以下）
・質量：0.5kg

(i)ご注意

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                            通常価格 98,449円～ 72,929円～ 34,586円～ 42,767円～ 66,431円～ 34,132円～ 32,899円～ 1,317円～ 110,810円 45,142円～ 67,871円～ 410,401円 181,447円
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