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型番
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XMH/L型バルブ
XYH/ストレート型
L型バルブ/XMHシリーズ
ストレート型/XYHシリーズ
型番 | XMH-16 | XMH-25 XYH-25 | XMH-40 XYH-40 | XMH-50 XYH-50 | |
---|---|---|---|---|---|
フランジ(バルブ)サイズ | 16,CF034 | 25 | 40,CF070 | 50 | |
弁の形式 | 手動 | ||||
使用流体 | 不活性ガス系の真空 | ||||
使用温度 ℃ | 5~150 | ||||
使用圧力 Pa(abs) | 1×10-6~大気圧 | ||||
コンダクタンス L/s注1) | 5 | 14 | 45 | 80 | |
リーク量 Pa・m3/s | 内部 | 標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く | |||
外部 | 標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く | ||||
フランジの種類 | KF(NW),CF | KF(NW) | KF(NW),CF | KF(NW) | |
主な材質 | 本体:SCS13(SUS304相当),ベローズ:SUS316L,要部:SUS304,FKM(標準シール材) | ||||
操作トルク N・m | 0.1≦ | 0.15≦ | 0.35≦ | 0.5≦ | |
ハンドル回転数 | 5 | 7 | 10 | 13 | |
質量 kg注2) | XMH | 0.31(0.35) | 0.57 | 1.35(1.71) | 2.02 |
XYH | - | 0.62 | 1.37 | 2.42 |
注1)コンダクタンスは同一寸法のエルボの"分子流"での値で代表しています。
注2)( )内質量はCF(コンフラット)継手の場合です。
XMH/L型(左)・XYH/ストレート型(右)
※保守部品につきましてはカタログをご参照ください。
単位:mm
型番 | A | B | C | D | Fn | Fc | G | H | J | P.C.D.L1 | L2 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
XMH-16 | 40 | 100.5 | 38 | 1 | 30 | 34 | 17 | 35 | 18 | P.C.D27 | 6×φ4.4(直径4.4mm) |
XMH-25 | 50 | 114 | 48 | 1 | 40 | - | 26 | 40.5 | 21.5 | - | - |
XMH-40 | 65 | 162.5 | 66 | 2 | 55 | 70 | 41 | 57 | 30 | P.C.D58.7 | 6×φ6.6(直径6.6mm) |
XMH-50 | 70 | 179.5 | 79 | 2 | 75 | - | 52 | 70 | 35 | - | - |
型番 | A | B | C | D | E | Fn | G | H | J |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
XYH-25 | 100.2 | 75.8 | 48 | 1 | 23.5 | 40 | 26 | 40.5 | 21.5 |
XYH-40 | 130 | 102.5 | 66 | 2 | 38 | 55 | 41 | 57 | 30 |
XYH-50 | 178 | 119 | 79 | 2 | 53 | 75 | 52 | 70 | 35 |
型番 |
フランジ種類 |
フランジ呼び |
音速コンダクタンス |
バルブ種類 |
シール材質 |
リーク量(Pa・m3/s) |
シ−ル変更箇所 | 最小発注数量 | 通常単価(税別)(税込単価)
|
通常 出荷日
|
---|
KF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
なし
| 1個 | 48,008円(
52,809円
) | 6日目 | |
KF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 48,176円(
52,994円
) | 19日目 | |
KF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
バルブシール
| 1個 | 48,092円(
52,901円
) | 19日目 | |
KF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部シール
| 1個 | 48,092円(
52,901円
) | 19日目 | |
KF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 64,878円(
71,366円
) | 19日目 | |
KF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
バルブシール
| 1個 | 60,178円(
66,196円
) | 19日目 | |
KF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部シール
| 1個 | 52,708円(
57,979円
) | 19日目 | |
KF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 60,765円(
66,842円
) | 19日目 | |
KF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
バルブシール
| 1個 | 55,645円(
61,210円
) | 19日目 | |
KF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部シール
| 1個 | 53,128円(
58,441円
) | 19日目 | |
KF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
Chemraz(配合No.:SS592)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 74,026円(
81,429円
) | 19日目 | |
KF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
Chemraz(配合No.:SS630)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 73,773円(
81,150円
) | 19日目 | |
KF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
Chemraz(配合No.:SSE38)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 76,795円(
84,475円
) | 19日目 | |
KF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 53,883円(
59,271円
) | 19日目 | |
KF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
バルブシール
| 1個 | 50,945円(
56,040円
) | 19日目 | |
KF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部シール
| 1個 | 50,945円(
56,040円
) | 19日目 | |
CF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
なし
| 1個 | 53,966円(
59,363円
) | 19日目 | |
CF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 66,723円(
73,395円
) | 19日目 | |
CF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
バルブシール
| 1個 | 61,605円(
67,766円
) | 19日目 | |
CF
|
16
|
5L/S
|
L型
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部シール
| 1個 | 59,086円(
64,995円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
L型
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
なし
| 1個 | 53,850円(
59,235円
) | 在庫品1日目 当日出荷可能 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
L型
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 51,533円(
56,686円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
L型
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
バルブシール
| 1個 | 42,767円(
47,044円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
L型
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 70,416円(
77,458円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
L型
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 71,256円(
78,382円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
L型
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
バルブシール
| 1個 | 62,192円(
68,411円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
L型
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部シール
| 1個 | 60,429円(
66,472円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
L型
|
VMQ(配合No.:1232-70)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 44,550円(
49,005円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
L型
|
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 57,659円(
63,425円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
L型
|
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
バルブシール
| 1個 | 54,302円(
59,732円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
L型
|
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部シール
| 1個 | 54,722円(
60,194円
) | 19日目 | |
KF
|
40
|
45L/S
|
L型
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
なし
| 1個 | 79,398円(
87,338円
) | 6日目 | |
KF
|
40
|
45L/S
|
L型
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 79,565円(
87,522円
) | 19日目 | |
KF
|
40
|
45L/S
|
L型
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 102,898円(
113,188円
) | 19日目 | |
KF
|
40
|
45L/S
|
L型
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部シール
| 1個 | 90,308円(
99,339円
) | 19日目 | |
KF
|
40
|
45L/S
|
L型
|
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 86,279円(
94,907円
) | 19日目 | |
CF
|
40
|
45L/S
|
L型
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
なし
| 1個 | 85,356円(
93,892円
) | 6日目 | |
CF
|
40
|
45L/S
|
L型
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 85,523円(
94,075円
) | 19日目 | |
CF
|
40
|
45L/S
|
L型
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部シール
| 1個 | 85,440円(
93,984円
) | 19日目 | |
CF
|
40
|
45L/S
|
L型
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 108,856円(
119,742円
) | 19日目 | |
KF
|
50
|
80L/S
|
L型
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
なし
| 1個 | 97,022円(
106,724円
) | 19日目 | |
KF
|
50
|
80L/S
|
L型
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 97,190円(
106,909円
) | 19日目 | |
KF
|
50
|
80L/S
|
L型
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 134,455円(
147,901円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
ストレート型
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
なし
| 1個 | 61,100円(
67,210円
) | 6日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
ストレート型
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 61,269円(
67,396円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
ストレート型
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 80,152円(
88,167円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
ストレート型
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
バルブシール
| 1個 | 73,858円(
81,244円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
ストレート型
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部シール
| 1個 | 67,395円(
74,135円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
ストレート型
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 80,992円(
89,091円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
ストレート型
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
バルブシール
| 1個 | 71,928円(
79,121円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
ストレート型
|
Kalrez(配合No.:4079)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部シール
| 1個 | 70,165円(
77,182円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
ストレート型
|
Chemraz(配合No.:SS592)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 96,099円(
105,709円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
ストレート型
|
Chemraz(配合No.:SS630)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 94,923円(
104,415円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
ストレート型
|
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 67,395円(
74,135円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
ストレート型
|
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
バルブシール
| 1個 | 64,038円(
70,442円
) | 19日目 | |
KF
|
25
|
14L/S
|
ストレート型
|
FKM for Plasma(配合No.:3310-75)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
|
外部シール
| 1個 | 64,458円(
70,904円
) | 19日目 | |
KF
|
40
|
45L/S
|
ストレート型
|
FKM(配合No.:1349-80)
|
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
|
なし
| 1個 | 89,133円(
98,046円
) | 6日目 | |
KF
|
40
|
45L/S
|
ストレート型
|
EPDM(配合No.:2101-80)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 89,300円(
98,230円
) | 19日目 | |
KF
|
40
|
45L/S
|
ストレート型
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
|
バルブシール/外部シール
| 1個 | 115,655円(
127,221円
) | 19日目 | |
KF
|
40
|
45L/S
|
ストレート型
|
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
|
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
|
バルブシール
| 1個 | 107,093円(
117,802円
) | 19日目 |
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圧力バランス構造で、排気方向が自由な真空バルブ。
【特長】
・ベローズ式でダストフリー、クリーン化
・低い操作トルク(0.5N・m以下)
・スプリングによる一定のシール荷重
・バルブ開閉時のハンドル高さが一定
・開閉確認用インジケータを標準で装備
・ボディ材質:SCS13(SUS304相当)
・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)
・軽量・コンパクト
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ
アルミニウム製真空バルブとなります。アウトガスや重金属汚染が少なく、フッ素に対する耐食性にも優れています。均一なベーキング温度により、生成物の付着が激減しました。
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ
真空バルブとなります。アルミボディ採用でフッ素ガスの腐食に強い製品です。ベローズ交換が可能になり、メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れます。
SMC
【在庫品多数】薄形シリンダ 標準形 複動・片ロッド CQ2シリーズ
薄形シリンダ/標準形:複動・片ロッド CQ2シリーズとなります。全長が薄形に設計された省スペースシリンダです。各種冶具や装置のコンパクト化を実現しているため最小限のスペースでワーク可能です。
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