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ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

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税込価格
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圧力バランス構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・...

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  • スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
    CADデータは、一部の型番には対応しておりません。
  • 商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。

型番

未確定828件の候補があります。

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商品情報

外形図

単位:mm

XMA(L型)

XMA(L型)の寸法図1
XMA(L型)の寸法図2

XYA(ストレート型)

XYA(ストレート型)の寸法図1
XYA(ストレート型)の寸法図2

製品仕様

XMAシリーズの外観

XMAシリーズ

XYAシリーズの外観

XYAシリーズ

製品仕様

型番XMA-16XMA-25
XYA-25
XMA-40
XYA-40
XMA-50
XYA-50
XMA-63
XYA-63
XMA-80
XYA-80
フランジ(バルブ)サイズ16, CF0342540, CF0705063, CF11480
弁の形式常時閉(加圧開・スプリングシール)
使用流体不活性ガス系の真空
使用温度℃5~60(高温タイプの場合5~150)
使用圧力Pa(abs)1×10-6~大気圧
コンダクタンス L/s注1)5144580160200
リーク量 Pa・m3/s内部標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く
外部標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く
作動時間s0.050.10.210.240.260.28
フランジの種類KF(NW), CFKF(NW)KF(NW), CFKF(NW)KF(NW), K(DN), CFKF(NW), K(DN)
主な材質本体:SCS13(SUS304相当), ベローズ:SUS316L, 要部:SUS304, FKM(標準シール材)
パイロット圧力MPa(G)0.4~0.7
パイロットポート接続口径M5Rc1/8
質量kg注2)XMA0.33(0.37)0.611.40(1.76)23.60(4.96)6.2
XYA-0.661.422.404.307.70

注1)コンダクタンスは同一寸法のエルボの「分子流」での値で代表しています。
注2)( )内質量はCF(コンフラット)継手の場合

構造

XMA(L型)、XYA(ストレート型)の構造図

※保守部品につきましてはカタログをご参照ください。

規格表

単位:mm

XMA(L型)

型番ABCDFnFdFcGHP.C.D L1L2
XMA-164010338130-341740P.C.D 276×φ4.4(直径4.4mm)
XMA-255011348140--2639--
XMA-406515866255-704163P.C.D 58.76×φ6.6(直径6.6mm)
XMA-507017079275--5268--
XMA-6388196100387951147069P.C.D 92.18×φ8.4(直径8.4mm)
XMA-80902351173114100-8396--

XYA(ストレート型)

型番ABCDEFnFdGH
XYA-25100.279.548123.540-2664
XYA-401301066623855-4184
XYA-501781197925375-5295
XYA-63209149100361879570118
XYA-8026817811738011411083142

注意・禁止事項

  • ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照下さい。
  • ※ 商品画像は代表画像となっております。

型番リスト

型番
フランジ種類
フランジ呼び
バルブ種類
インジケータ
操作ポート方向
温度範囲(℃)
スイッチ型式
スイッチ数
シール材質
リーク量(Pa・m3/s)
シ−ル変更箇所
スイッチリード線長さ(m)
最小発注数量
通常単価(税別)(税込単価)
  • 価格の安い順
  • 価格の高い順
  • 解除
通常
出荷日
  • 早い順
  • 遅い順
  • 解除
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-

1個

48,008( 52,809円 )

6日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-

1個

48,259( 53,085円 )

6日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
オートスイッチなし
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-

1個

40,255( 44,281円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
オートスイッチなし
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-

1個

61,016( 67,118円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

53,548( 58,903円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
1ヶ付(検出位置:弁開)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

50,778( 55,856円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
1ヶ付(検出位置:弁閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

50,778( 55,856円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3

1個

54,219( 59,641円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

53,715( 59,087円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
0.5

1個

53,883( 59,271円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
0.5

1個

55,813( 61,394円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁開)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

50,862( 55,948円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁開)
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
0.5

1個

67,730( 74,503円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁開)
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
0.5

1個

63,619( 69,981円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁開)
Chemraz(配合No.:SS630)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
0.5

1個

76,628( 84,291円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

50,862( 55,948円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3

1個

54,386( 59,825円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
3

1個

67,143( 73,857円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
1

1個

54,050( 59,455円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9P
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3

1個

54,386( 59,825円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-

1個

48,176( 52,994円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-

1個

64,878( 71,366円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
-

1個

60,178( 66,196円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部シール
-

1個

52,708( 57,979円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-

1個

60,765( 66,842円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
Chemraz(配合No.:SSE38)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-

1個

66,389( 73,028円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-

1個

48,428( 53,271円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-

1個

48,679( 53,547円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3

1個

54,638( 60,102円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

54,135( 59,549円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
0.5

1個

54,219( 59,641円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
0.5

1個

66,892( 73,581円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

51,280( 56,408円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3

1個

54,806( 60,287円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
5

1個

47,237( 51,961円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9P
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3

1個

54,806( 60,287円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-

1個

48,595( 53,455円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-

1個

53,966( 59,363円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

59,506( 65,457円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3

1個

50,979( 56,077円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

49,604( 54,564円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3

1個

57,156( 62,872円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9P
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

59,673( 65,640円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-

1個

54,386( 59,825円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-

1個

54,638( 60,102円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3

1個

60,765( 66,842円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ面 左
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-

1個

54,386( 59,825円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ面 裏
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-

1個

54,386( 59,825円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ面 裏
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-

1個

54,638( 60,102円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ面 裏
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5

1個

59,926( 65,919円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ面 裏
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3

1個

51,334( 56,467円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ面 裏
5~60
M9P
1ヶ付(検出位置:弁開)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3

1個

57,576( 63,334円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ面 裏
5~150
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-

1個

58,250( 64,075円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~150
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-

1個

55,142( 60,656円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~150
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-

1個

67,899( 74,689円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ面 左
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
オートスイッチなし
VMQ(配合No.:1232-70)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
-

1個

54,302( 59,732円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ面 左
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
VMQ(配合No.:1232-70)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
3

1個

60,262( 66,288円 )

19日目

[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ面 左
5~150
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-

1個

67,899( 74,689円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータ付
フランジ面 左
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-

1個

48,428( 53,271円 )

19日目

NW
16
L型
インジケータ付
フランジ面 左
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-

1個

48,679( 53,547円 )

19日目

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詳細情報

基本情報

圧力バランス構造の真空バルブ。
【特長】
・ベローズ式でダストフリー、クリーン化
・ボディ材質:SCS13(SUS304相当)
・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)
・軽量・コンパクト

(i)ご注意

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  • ■SMC エアシリンダ製品の選定・技術情報
    特集ページは こちら から、ご確認下さい。

    ■SMC製品取扱いについて
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                          アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/Oリングシール XLGシリーズ

                            メーカー SMC SMC SMC SMC VAT SMC CKD CKD SMC SMC SMC フジ・テクノロジー SMC
                            通常価格 40,255円 43,164円 42,767円 67,871円 34,132円 34,424円 45,142円 48,137円 31,449円 31,959円 40,185円 20,462円 33,659円
                            通常出荷日 在庫品1日目~   当日出荷可能 3日目~   在庫品1日目~   当日出荷可能 6日目~   在庫品1日目~   当日出荷可能 在庫品1日目~   当日出荷可能 3日目~   3日目~   在庫品1日目~   当日出荷可能 3日目~   19日目   10日目   6日目~  
                            種類 空操真空弁 パイロット真空弁 手動真空弁 パイロット真空弁 - パイロット真空弁 手動真空弁 空操真空弁 空操真空弁 パイロット真空弁 高真空用電磁弁 - パイロット真空弁
                            用途 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 - 単体使用 - 単体使用 単体使用 単体使用 単体使用 - 単体使用
                            設置方法 ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト - ダイレクト - ダイレクト ダイレクト ダイレクト ダイレクト - ダイレクト
                            ポート数 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 2ポート弁 - 2ポート弁 - 2ポート弁 3ポート弁 2ポート弁 3ポート弁 - 2ポート弁
                            切換の種類 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ - 2位置ノーマルクローズ - ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ 2位置ノーマルクローズ - 2位置ノーマルクローズ

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