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プロセスガス排気用バキュームジェネレータ VGシリーズ
- 通常価格(税別)
- 60,796円 ～ 67,988円
- 税込価格
- 66,876円 ～ 74,787円
・供給流体の消費を大幅に低減できます・一次側の圧力変動に強い商品です。
型番
未確定2件の候補があります。
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商品情報
外形図
製品仕様
| 型番 | ノズル径（mm） | Oリング材質 |
|---|---|---|
| VG-05F | φ0.5 | FKM |
| VG-05P | φ0.5 | カルレッツ® |
| 項目 | VG |
|---|---|
| 使用流体 | 不活性ガス・プロセスガス |
| 流体温度℃ | 0～+80 |
| 供給流体MPa | 窒素、ドライエア |
| 供給流体圧力MPa | 0.4～0.6（作動時） |
| 供給流体消費量L/min（ANR） | 16以下 ※1 |
| 到達真空度kPa（abs） | 13.3以下 |
| 排気量L/min（ANR） | 6 ※1 ※2 |
| 外部漏れPa・m3/s（He） | 2.8×10-12以下 |
| 耐圧力MPa | 3 |
| 周囲温度℃ | 0～+80 |
| 接続方式 | IN：1/4"JXRオス継手（VCR継手と接続可能） VAC.：1/4"JXRメス継手（VCR継手と接続可能） VENT：3/8"JXRオス継手（VCR継手と接続可能） |
| 質量kg | 0.2 |
※1：0.5MPa加圧時（作動時）
※2：使用流体が空気において
型番リスト
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詳細情報
基本情報
・供給流体の消費を大幅に低減できます・一次側の圧力変動に強い商品です。
- 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。
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