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【特長】・クラス最高の真空到達及び排気速度を実現しました・52dB(A)未満の...
全nXDSタイプの物理サイズは同じです。
寸法はミリ単位(インチ単位)
A.(4x)9mm幅スロット
B.(4x)ゴム足
単位 | nXDS6i | nXDS10i | nXDS20i | |
---|---|---|---|---|
真空データ | ||||
排気速度 | m3/h(cfm) | 6.2(3.6) | 11.4(6.7) | 22.0(13.0) |
到達真空(1) | Pa(Torr) | 2(0.015) | 0.7(0.005) | 3(0.022) |
ガス バラスト使用時の到達真空 | Pa(Torr) | 5(0.038) | 4(0.03) | 6(0.045) |
耐水蒸気性 | Pa(Torr) | 3,500(26) | 2,000(15) | |
許容水蒸気圧 | gh-1 | 110 | 145 | 220 |
最大連続インレット圧力(2) | Pa a(Torr a) | 20,000(150) | 5,000(38) | |
最大ガス バラスト/パージ圧力 | barゲージ(psig) | 0.5(7) | ||
モータデータ | ||||
供給電圧 | V | 100-127/200-240 (+/-10%) | ||
供給周波数 | Hz | 50/60 | ||
公称回転速度 | rpm | 1,800 | ||
最小スタンバイ回転速度 | rpm | 1,200 | ||
速度制御精度 | % | 1 | ||
消費電力(到達時) | W | 260 | 280 | 260 |
モータ電力 | W | 660 | ||
電源コネクタ | - | IEC EN60320 C13 | ||
推奨ヒューズ、230V(115V) | A | 10(13) | ||
物理データ | ||||
重量 | kg(lb) | 26.2(58) | 25.8(57) | 25.6(56) |
インレット接続 | - | NW25 | ||
排気接続 | - | NW25 | ||
騒音レベル | dB(A) | 52 | ||
騒音レベル(防音カバー使用時) | dB(A) | 47 | ||
振動(インレットフランジ部) | mms-1(rms) | <4.5 | ||
リーク量 | Pa L/s | <1×10-4 | ||
動作温度範囲 | ℃(°F) | 10~40(50~104) |
(1)全圧として測定
(2)これらのポンプは大気圧からポンプダウンするよう設計されていますが、入口圧力が指定よりも高い場合の長期運転はベアリングの寿命を短くします。
1.通常排気速度
2.通常フルパワー
3.通常GB速度
4.最小スタンバイ電力
5.最小スタンバイ速度
型番 |
吸込流量(50Hz時)(l/min) |
吸込流量(60Hz時)(l/min) |
到達圧力(Pa) |
トラスココード |
本体重量(kg) | RoHS | 最小発注数量 | 通常単価(税別)(税込単価)
|
通常 出荷日
|
---|
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【特長】
・クラス最高の真空到達及び排気速度を実現しました
・52dB(A)未満の静音性です
・最長5年の整備間隔により所有コストを低減します
・ユーザーによるチップシールの交換が可能です
【用途】
・分析装置、半導体装置、各種実験装置
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