(!)Internet Explorer 11は、2022年6月15日マイクロソフトのサポート終了にともない、当サイトでは推奨環境の対象外とさせていただきます。
カテゴリ・メーカーから探す
メカニカル部品系
筐体・調整締結・素材
- フレーム・サポート部品・支柱
- キャスタ・アジャスタ・扉部品・外装部品
-
ねじ・ボルト・ナット・ワッシャ・カラー
ねじ・ボルト・ナット・ワッシャ・カラー
-
六角穴付きボルト
-
六角ボルト
-
小ねじ
-
止めねじ
-
座金組込みねじ
-
蝶ボルト・つまみねじ・化粧ビス
-
ストリッパ・リーマ・ショルダーボルト
-
でんでんボルト
-
アイボルト
-
樹脂ねじ・セラミックねじ
-
全ねじ・スタッドボルト
-
いたずら防止ねじ
-
配管Uボルト
-
ユニファイねじ・インチねじ・ウィットねじ
-
マイクロねじ・微細ねじ
-
脱落防止ねじ
-
タッピングねじ・タップタイト・ハイテクねじ
-
ドリルねじ
-
四角ボルト・丸ボルト
-
貫通穴付ボルト
-
ねじ用アクセサリー・カバーキャップ
-
座金（ねじ用ワッシャ）
-
ナット
-
アンカーボルト
-
リベット・鋲
-
インサート
-
建材用スクリュー
-
ねじ用工具類
-
ワッシャ・カラー
-
シム
-
スナップピン・割りピン
-
マシンキー
-
止め輪・リング
-
スクリュープラグ
-
アジャスタ
-
ノックピン・段付ピン・スプリングピン
-
-
ばね・アブソーバ・調整締結・ピン・小物部品
-
素材(金属・樹脂・ゴム・スポンジ・ガラス)
素材(金属・樹脂・ゴム・スポンジ・ガラス)
-
対策・メンテナンス関連
空圧・油圧・配管・温調部品
回転伝達・コンベヤ・モータ・ロボット
直動・センサ・位置決め・ステージ
特注部品・図面加工部品
電気系
金型系
消耗品・補修用品・備品系
切削加工用品
-
切削工具
切削工具
-
エンドミル
-
フライスチップ・ホルダー
-
ヘッド交換式工具
-
自由指定直刃エンドミル
-
専用カッター
-
旋削チップ
-
旋削ホルダ
-
完成バイト・ロウ付けバイト
-
ローレット
-
ドリル
-
ドリル関連部品・用品
-
タップ
-
タップ関連部品・用品
-
ダイス
-
ダイス関連部品・用品
-
ねじ山修正・除去工具
-
タップ・ダイスセット
-
ねじ切りカッター
-
リーマ
-
面取りカッター
-
面取りカッター関連部品・用品
-
切削工具関連備品
-
ホールソー・コアドリル・クリンキーカッター
-
ホールソー・コアドリル・クリンキーカッター関連部品
-
磁気ボール盤カッター
-
ボーリングシステム
-
ツーリングホルダ・ツーリングチャック
-
アングルヘッド
-
コレット
-
スリーブ・ソケット（ツーリング）
-
アーバ
-
ツーリング関連部品・用品
-
加工物基準位置測定器
-
芯出しバー
-
刃先位置測定器
-
ツールプリセッター
-
テストバー
-
プリセッター・芯出し・位置測定工具関連部品・用品
-
クーラントライナー・クーラントシステム
-
エアージェット・エアークーラー
-
クーラント関連部品・用品
-
円テーブル・ロータリーテーブル
-
- 工作機工具・治具
生産加工用品
-
測定工具・計測機器
測定工具・計測機器
-
ノギス
-
pH計・導電率計
-
ノギス関連アクセサリ
-
マイクロメーター
-
検知管
-
ダイヤルゲージ
-
ダイヤルゲージ関連部品・用品
-
ピンゲージ
-
ピンゲージ関連部品・用品
-
ハイトゲージ
-
流量計
-
ハイトゲージ関連部品・用品
-
リングゲージ
-
デプスゲージ
-
シックネスゲージ・すきまゲージ
-
内径測定器
-
ゲージ
-
スコヤ
-
定規
-
コンベックス
-
巻尺
-
はかり
-
角度計
-
光学機器
-
水平器
-
レーザー測定器
-
マグネット関連
-
定盤
-
数取器・カウンタ
-
ガス測定器・検知器
-
ケガキ用品
-
ストップウォッチ・タイマー
-
テンションゲージ
-
環境測定器
-
温度計・湿度計
-
圧力計
-
顕微鏡
-
天秤・天秤関連品
-
分銅
-
硬度計
-
振動計・回転計
-
水質・水分測定器
-
粘度計
-
膜厚計・探知器
-
偏心測定器
-
表面粗さ測定器
-
音検出器
-
測定データ機器
-
アースメータ（接地抵抗計）
-
テスタ・マルチメータ
-
オシロスコープ
-
クランプメータ
-
検相器・検電器・導通チェッカ
-
絶縁抵抗計
-
ネットワークテスタ・ケーブルテスタ・光ファイバ計測器
-
安全試験器
-
回路素子測定器
-
信号源・ファンクションジェネレータ
-
電源装置
-
高周波測定器（RF測定器）
-
計測機器関連品
-
電圧計・電流計
-
電力計
-
その他電気計測器
-
- 放電加工用品
- 研削研磨・切断用品
-
手作業工具
手作業工具
-
スパナ・めがねレンチ・ラチェットレンチ
-
六角棒レンチ
-
モンキーレンチ
-
トルクスレンチ
-
ソケットレンチ
-
トルクレンチ
-
トルクレンチ関連部品・用品
-
トルク測定器
-
ドライバー
-
ドライバー関連部品・用品
-
トルクドライバー
-
トルクドライバー関連部品・用品
-
プライヤー
-
プライヤー関連部品
-
ニッパー
-
ニッパー関連部品
-
ペンチ
-
ペンチ関連部品
-
ハンマー
-
工具セット・ツールセット
-
工具セット・ツールセット関連部品・用品
-
カッターナイフ
-
タガネ
-
ドライバービット
-
ドライバービット関連用品
-
プーラ
-
刻印・ポンチ
-
車輌整備用工具
-
水道・空調配管用工具
-
切断用工具
-
絶縁工具
-
板金用工具
-
防爆工具
-
かしめ工具
-
電設工具
-
バール・テコ
-
ソケットビット
-
ソケットアダプター
-
ピンセット
-
-
電動工具・空圧工具
- 小型加工機・卓上加工機
- 溶接用品
- はんだ・静電気対策用品
MRO・工場用副資材
メーカーから探す
特集から探す
高真空度クラス対応形スイッチ
- 数量スライド割引
- 一部当日出荷可能
- 通常価格(税別)
- 19,358円 ～ 19,688円
- 税込価格
- 21,294円 ～ 21,657円
10の-5乗Pa 高真空度クラス対応のコンタクトスイッチ。【特長】・低アウトガ...
商品情報
外形図
製品仕様
製品仕様
| 接点構造 | 接点形 |
|---|---|
| 動作形態 | A：NO/B：NC |
| 動作点の繰返し精度 | ON⇄OFFとも0.003mm（レンジ） |
| 対応真空度/ベーキング許容温度 | 10-5Pa/120℃ |
| 動作までの動き | 約0.3（A：NO）/なし（B：NO） |
| 応差 | 0 |
| 接点精度寿命 | 300万回 |
| ストローク | 1.5mm |
| 接触力 | 0.5N |
| 接点定格 | DC5V～DC24V 定常電流10mA以下(突入電流20mA以下) |
| 形式名 | 動作形態 | コード方向 |
|---|---|---|
| GN-PT5M3A | A：NO | ストレート |
| GN-PT5M3B | B：NC | |
| GN-PT5M3A-R | A：NO | 直角 |
| GN-PT5M3B-R | B：NC |
使用例
スマートフォン用ガラス基板のアライアメント
活用事例
真空チャンバー内での半導体ウェハーの有無検出
光電センサの場合はビューポートから検知をするが、蒸着時の曇りによって誤検知してしまう。
高真空度クラス対応形スイッチなら、真空環境でも検知可能に。
真空環境下での位置決めアプリケーション
半導体ウェハーの有無検出
ガラス基板の位置決め
ガラス基板の位置決め
ガラス基板のアライメント
マスクのトレイ着座検出
キャリアの原点出し
商品特長詳細
低アウトガス対応部品だけで製造した、高真空環境専用の位置決めコンタクトスイッチ
- 低アウトガス対応の材質・接着剤・コードを採用。
型番リスト
- 表示件数:
| 型番 |
接点の種類 |
動作点(mm) |
コード方向 | RoHS | 最小発注数量 | 通常単価(税別)(税込単価)
|
通常 出荷日
|
|---|
接点式 NO
|
0.3
|
ストレート
| 10 | 1個 | 19,358円(
21,294円
) | 在庫品1日目 当日出荷可能 | |
接点式 NO
|
0.3
|
直角
| 10 | 1個 | 19,688円(
21,657円
) | 9日目 | |
接点式 NC
|
0
|
ストレート
| 10 | 1個 | 19,358円(
21,294円
) | 19日目 | |
接点式 NC
|
0
|
直角
| 10 | 1個 | 19,688円(
21,657円
) | 9日目 |
Loading...
詳細情報
基本情報
10の-5乗Pa 高真空度クラス対応のコンタクトスイッチ。
【特長】
・低アウトガス対応部品のみで製造した、高真空環境専用の位置決めスイッチ
【用途】
・真空チャンバーの半導体ウェハーの有無検出に
・真空成膜装置、太陽光発電（PV）真空装置のガラス基板の位置決めに
・FPD向け真空成膜装置のガラス基板のアライメントやマスクのトレイ着座検出、キャリアの原点出しに
・大手半導体製造装置メーカーに続々採用
- 一部型番の仕様・寸法を掲載しきれていない場合がございますので、詳細は メーカーカタログをご覧ください。
この商品を見た人は、こんな商品も見ています
よくあるご質問（FAQ）
- Q RoHS指令に対応していますか？
-
A標準製品については、全てRoHS指令に対応しております。
- Q 輸出に必要な各種規格には、対応していますか？
-
A当社の製品は、貿易輸出管理例・CEマーク・機械指令・低電圧指令に非該当です。
コンタクトスイッチカテゴリの売れ筋ランキング
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます
技術サポート窓口
- メカニカル部品技術窓口
-
商品の仕様・技術のお問い合わせ
型番が確定しました
サイト改善にご協力ください
MISUMIへのご意見をお聞かせください。
お送りいただいたご意見に対する、個別の返答はいたしかねます。
回答をご希望のお客さまは、お問い合わせフォームをご利用ください。
個人情報・お客さま情報保護方針
ご協力ありがとうございました。
お送りいただいたご意見に対する、個別の返答はいたしかねます。
回答をご希望のお客さまは、お問い合わせフォームをご利用ください。
個人情報・お客さま情報保護方針