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ウエハキャリアの着座検知。【特長】・ガイドとの併用で着座位置を設定。・ウエハキ...
型番
未確定2件の候補があります。
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EE-SPY801
EE-SPY802
項目/型番 | EE-SPY801/802 | |
---|---|---|
検出距離(標準検出物体) | 0~5mm(反射率90% 白色紙15×15mm2) 0~3mm(反射率10% 黒色紙15×15mm2) | |
検出物体 | ウエハキャリア(透明体・不透明体) | |
動作表示灯 | 物体検出時点灯(橙色) | |
光源(ピーク発光波長) | GaAs赤外発光ダイオード(940nm) | |
電源電圧 | DC12~24V±10% リップル(p-p)5%以下 | |
消費電流 | 30mA以下 | |
制御出力 | NPNオープンコレクタ出力、DC5~24V、100mA以下、オフ電流0.5mA以下 残留電圧:0.8V以下(負荷電流100mA時) 残留電圧:0.4V以下(負荷電流40mA時) | |
応答時間 | 5ms以下 | |
使用周囲照度 | 受光面照度 白熱ランプ・太陽光:各3,000lx以下 | |
周囲温度範囲 | 動作時:-10~+55℃、保存時:-25~+65℃(ただし、氷結しないこと) | |
周囲湿度範囲 | 動作時:5~85%RH、保存時:5~95%RH(ただし、結露しないこと) | |
振動(耐久) | 1~500Hz 片振幅1.0mmまたは150m/s2 X、Y、Z各方向 3掃引、11min/掃引 | |
衝撃(耐久) | 500m/s2 X、Y、Z各方向 3回 | |
保護構造 | IEC規格 IP30 | |
接続方式 | コード引き出しタイプ(標準コード長2m) | |
質量(梱包状態) | 本体(センサ):約43g、アクセサリ(ガイド):約9g | |
材質 | ケース | テトラフルオロエチレン-エチレン共重合体(ETFE) |
底板 | ポリブチレンテレフタレート | |
付属品 | 取扱説明書 |
赤枠:赤外光
安全を確保する目的で直接的または間接的に人体を検出する用途に本製品は使用できません。
人体保護用の検出装置として本製品を使用しないでください。
定格を超える周囲雰囲気・環境では使用しないでください。
配線時
コードを延長される場合は、導体断面積0.15mm2(AWG26相当)以上の線を用い5m以内としてください。
5mを超える配線の場合は、センサから5m以内の電源ラインに10μF程度のコンデンサを入れた配線をしてください。
取りつけ時
センサの取りつけは、ソリのない取りつけ部に確実に取りつけてください。ねじの締めつけ強度は0.30N・m以下としてください。
(ねじの緩み防止のためバネ座金を合わせてお使いいただくことを推奨いたします。)
調整時
電源投入後、動作が安定するまで10ms程度が必要です。
負荷とセンサが別電源に接続されている場合は、必ずセンサの電源を先に投入してください。
使用環境
塩化水素ガスなどの腐蝕性ガスおよび潮風が製品にあたるところでは、使用しないでください。
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ウエハキャリアの着座検知。
【特長】
・ガイドとの併用で着座位置を設定。
・ウエハキャリアとの接触面は耐薬品性に優れたふっ素樹脂を使用。
・独自の光学系でほとんどのウエハキャリアで安定して検知。
・外乱光に強い変調光方式。
・コードはクリーンコード(タルク粉なし)を使用。
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