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G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1

G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1

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  • 当日出荷可能
通常価格(税別)
17,251円
税込価格
18,976円

大気圧から5×10-2Paまでの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。さらにこ...

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  • 測定子取付形状:
    NW16

型番

SWP-16-NW16 解除

  • CADデータ未対応

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商品情報

外形図

G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1 外形図

製品仕様

型式SW1-1
接続可能測定子数1本
測定圧力範囲5.0×10-2~1.0×10+5㎩(表示範囲 1.0×10-2~1.2×10+5㎩)
測定精度1×10-1㎩~1×10+4㎩:±10%
5.0×10-2㎩~1.0×10-1㎩. 1×10+4㎩~1×10+5㎩:±20%
繰り返し性1×10-1㎩~1×10+4㎩:±2%
サンプリング時間50㎳ 5回の移動平均処理
測定値出力出力電圧 DC 0~10V
圧力指示(Log出力)1.7V~8.0V 1V/桁(出力範囲:1.0V~8.1V)
更新時間:50㎳
制御入力信号オープンコレクタ入力、負論理
ADJ調整(ゼロ点調整、大気圧調整)
制御出力信号オープンコレクタ出力、負論理[定格:30VMAX、50㎃MAX、70㎽]
エラー信号
セットポイント 1、2
セットポイント用モニタセットポイント1、2:0~10V Log出力
LED表示POWER/ERROR:パワー、エラーLED
SET-1:セットポイント1LED
SET-2:セットポイント2LED
フィラメント材質白金
使用温度範囲10~40℃
使用湿度範囲15~80%(ただし結露無きこと)
IP保護等級IP30(センサユニット)
取付姿勢制限なし
電源電圧DC18V~30V、2W(電源投入時4.8W)
入出力コネクタD-Sub15-ピン(M2.6mmネジ)-センサユニット側
質量150g(SWP-16付き)
外形寸法 W×D×H70mm×46mm×28mm
付属品取扱説明書、測定子:SWP-16
適合規格CE

※ 大気圧調整ならびにゼロ点調整後の精度になります。

本器には圧力の表示部はありません。
本器は測定している圧力を0~10Vの信号にて出力しますので、信号を読み取る機器が必要です。
ディスプレイユニットとセットになった商品はこちら

 

 

G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1:関連画像

 

G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1:関連画像
お悩み 1測定子が衝撃や振動ですぐに断熱してしまう
お悩み 2フィラメントの劣化が早く、測定子の寿命が短い
お悩み 3真空計が正常に動作しているかわからない

G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1:関連画像

 

G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1:関連画像
G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1:関連画像
G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1:関連画像
G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1:関連画像

 

G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1の特長

■測定子の寿命が長持ち
独自の設計構造で衝撃に強い
また、フィラメントには他社がタングステン材を採用しているのに対して
大気圧ピラニ真空計は、耐食性に富んだ白金材を採用
■広領域測定が可能
従来のピラニ真空計 【型式:GP-1GRY、SP1】 測定範囲: 3×10^+3~4×10^-1Pa
大気圧ピラニ真空計 【型式:SW1-1】 測定範囲: 1.0×10^+5~5×10^-2Pa
■本体にLEDを搭載
異常を一目で確認

 

設置例

G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1:関連画像

 

G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1:関連画像
  • ・振動・衝撃のある各種真空排気ライン
  • ・炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御
  • ・太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空領域のプロセス制御
  • ・インライン式、松葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の低真空領域のプロセス制御

 

G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1:関連画像

真空ポンプの直上に測定子が設置されている為、真空ポンプの振動で断線しやすかったが、SW1-1は固有の振動にも強く、測定子の寿命が延びた。

G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1:関連画像

不安定な環境下での使用の為、1サイクル毎に測定子に衝撃が伝わり断線しやすかったが、1サイクル毎の衝撃がフィラメントに直接伝わらないので断熱しにくくなった。

G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1:関連画像

水分の多い雰囲気での使用の為、測定子のフィラメントがすぐに劣化してしまっていた。こちらのフィラメント材(白金)は水分の多い雰囲気はもちろん、酸素などとも反応しないため寿命が延びた。

G-TRAN シリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1-1:関連画像

 

 

型番リスト

型番
種類
センサ・モニタ構造
動作温度範囲(℃)
動作湿度範囲(%)
測定圧力範囲(Pa)
電源電圧
外形寸法W×D×H(mm)
仕 様
制御出力信号
シリアル通信仕様
使用温度範囲(℃)
測定子
セットポイント
トラスココード
最小発注数量
通常単価(税別)(税込単価)
  • 価格の安い順
  • 価格の高い順
  • 解除
通常
出荷日
  • 早い順
  • 遅い順
  • 解除
  • 注文停止中

SWP-16-NW16

[圧力センサ] 測定子
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SWP-16単体
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1個

17,251( 18,976円 )

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詳細情報

基本情報

大気圧から5×10-2Paまでの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。
さらにこの真空計は従来のコントローラから操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、「コストの低減」や「省スペース化」を可能としました。
【特長】
・広領域測定:大気圧から5×10-2Paまでの広領域の測定が可能。
・省配線:センサとコントローラ一体化により省配線、省スペース、省電力を実現。
・視認性の向上:異常を確認できるLEDを搭載。
・ワンタッチ調整が可能:大気圧調整ならびにゼロ点調整がワンタッチで可能。
・メンテナンス性:測定子の交換が容易。
・フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用。
・測定値出力信号:圧力はDC0〜10VのLog出力の標準装備。
・耐衝撃性の向上:耐衝撃性に富んだ設計構造。
・制御出力信号:セットポイント2点の出力可能。
・適合規格:CE標準対応。
【用途】
・太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製装置の低真空領域のプロセス制御用に。
・炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に。
・インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用に。

カタログ

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                            メーカー アルバック アルバック 東京電子 インフィコン キヤノンアネルバ アルバック インフィコン キヤノンアネルバ インフィコン 東京電子 EDWARDS コンバム(旧:妙徳) インフィコン
                            通常価格 17,251円 189,449円 22,848円 101,003円 175,750円 11,095円 39,237円 51,300円 17,307円 106,400円 163,651円 7,680円 114,253円
                            通常出荷日 在庫品1日目   当日出荷可能 在庫品1日目   当日出荷可能 3日目~   在庫品1日目   当日出荷可能 9日目   在庫品1日目~   当日出荷可能 在庫品1日目   当日出荷可能 14日目   8日目   19日目   11日目   在庫品1日目   当日出荷可能 在庫品1日目   当日出荷可能
                            測定子取付形状 NW16 NW16 - - - - - - - - - - -

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